中古 FANUC R2000iA 165F #9204466 を販売中

ファナックR2000iA 165Fは、ファナック・ロボティクスが産業用半導体製造用途向けに開発したウェハハンドリングロボットです。この産業用ロボットは、一般的に高度な半導体デバイスの製造に使用される直径165mmまでのウェーハで動作するように設計されています。このロボットは、バルクソースまたはカセットからウェーハを拾うことができ、エッチャーやクリーナーなどのドライプロセス機器にウェーハをロード/アンロードすることができます。FANUC R-2000IA/ 165Fには最先端のティーチペンダントインターフェースが搭載されており、オペレータはウェーハ処理に関連するロボットの動きや動きを簡単にプログラムできます。このインターフェースは、ロボットのシステムやコンポーネントの診断にも便利な機能を提供します。さらに、より大きなオートメーションネットワークに統合することができ、ロボットを遠隔地から監視および制御することができます。また、半導体生産者のウェーハ処理時間を短縮し、作業を簡素化するように設計されています。高解像度カメラと画像処理ソフトウェアを使用して、バルクソースまたはカセットのいずれかからウェーハを正確に識別、検索、ピックアップするビジョン機器を装備しています。さらに、さまざまなエンドエフェクターを搭載し、異なるウエハ素材やサイズに対応できます。さらに、ロボットの動きは、高い精度と再現性を確保するモーションコントロールシステムによって制御されます。さらに、コントローラは最大6つの軸を管理し、さまざまな運用ニーズに対応する柔軟性を追加できます。R-2000 IA/ 165Fの安全機能は、オペレータとユニット自体の両方を最適に保護するように設計されています。包括的な安全カバー、アームロックインターロックマシン用のライトカーテン、特定の方向にロボットが動作するのを防ぐことができる近接スイッチとリミットスイッチは、このロボットに実装されている安全システムのほんの一部です。要するに、ファナックR-2000 IA/ 165Fウェハハンドラは、半導体生産におけるウェハハンドリング用に設計された柔軟で信頼性の高い産業用ロボットです。ティーチペンダント、ビジョンツール、モーションコントローラ、安全機能を備え、幅広い半導体製造タスクに適しています。