中古 FANUC R2000iA 165F #9182820 を販売中

FANUC R2000iA 165Fは、自動半導体製造設備で使用するために設計されたウェハハンドラです。高精度なウェーハハンドリングロボットであり、ウェーハの正確な制御と位置決めを提供するため、ハイエンド集積回路の製造に最適です。また、ハンドラや処理システムからのウェーハの積み降ろしや、ウェーハキャリアの設置・撤去など、ウェーハの単なる移動にとどまらず、独自の能力を発揮します。FANUC R-2000IA/ 165Fは、メインアーム、セカンダリアーム、リニアモータ、統合モーションコントローラで構成されています。メインアームはロボットの操作の大部分を担い、セカンダリアームはウェーハキャリアを配置するために使用されます。両アームは立体的な動きを調整することができ、高精度のエンコーダを搭載してパフォーマンスを監視します。IA/ 165Fは、最高の精度と精度を確保するために、リニアモータとロータリーモータR-2000組み合わせてウェーハの動きを駆動します。リニアモータはウェーハの位置決めに最適な精度を提供し、ロータリーモータは角度の自由度を提供し、ロボットアームはウェーハを必要な位置に正確に配置できます。R-2000IA/ 165Fのロボットアームには、安全で安全なウェーハハンドリングを保証する多くの機能が装備されています。アームは、ロボットとその環境に最大限の安全性を提供する調整可能なリミットスイッチを備えた安全ピンモニターを備えています。また、ウェーハプレゼンスセンサーを搭載し、ウェーハが正しい位置にない場合にロボットが危険な動きをするのを防ぐ緊急停止機能を搭載しました。FANUC R-2000 IA/ 165Fは、24時間稼働するように設計されており、幅広い診断機能と調整可能な設定を備えているため、パフォーマンスエラーの識別と修正が容易になります。また、複数のプロトコルをサポートしているため、多種多様な半導体製造事業への統合が可能です。このロボットのモジュラー設計により、簡単に設置でき、頑丈な構造により、最も過酷な産業環境でも信頼性の高い動作が保証されます。全体として、R2000iA 165Fは優れた精度、精度、汎用性を提供する高度なウェハハンドラです。さまざまな半導体製造アプリケーションに最適であり、最も要求の厳しい環境で一貫して信頼性の高い動作を提供することができます。