中古 FANUC R-J2 #9007198 を販売中

ファナックR-J2は、半導体製造プロセス向けに設計されたウェハハンドリングツールです。最大600mm径のウェーハに加え、複数の小型6インチウェーハにも対応可能です。R-J2は、ウェーハキャリアをプロセスモジュールからプロセスまたはアンロードツーリングに自動的に転送することができます。大口径ウェーハを高速で効率的に転送する機能は、他のソリューションよりもコスト面で優れています。FANUC R-J2は、信頼性の高い正確な動作を保証する堅牢な設計を備えています。フレキシブルなウエハハンドリングシステムを採用し、脆弱で短くて小さなウエハーの処理が可能です。この工具細工は直径2"から600mmまで及ぶウエハを処理するように設計されています。さらに、R-J2は複数のプロセスモジュールとストレージシステムからウェーハを転送することができます。FANUC R-J2の精度は0。003°C〜± 2。0mmです。高精度のサーボモータと駆動ユニットによって制御されます。ドライブユニットは防塵カバーで保護されており、本体は耐湿塗装仕上げのアルミ合金で構成されています。これにより、ツールは過酷な環境でも動作し続けることができます。R-J2は、生産性を向上させ、所有コストを削減するために設計されたさまざまな機能と利点を提供します。ウェーハの自動搬送、高速ウェーハの位置決めと搬送、ウェーハの素早い積み下ろしを実現します。また、ファナックR-J2には、ウェーハキャリアをすばやく認識できるビジョンシステムを搭載し、ウェーハハンドリングの精度向上に貢献しています。モーションコントロールと設計機能に加えて、R-J2はまた、半導体製造プロセスの他の部分とのインタフェースを可能にする強力なソフトウェアスイートを提供しています。これには、プロセス制御システム、サードパーティのオートメーションソフトウェア、およびデバイス制御システムと統合する機能が含まれます。ソフトウェア統合機能を備えたFANUC R-J2は、効率的で費用対効果の高いウェハハンドリングを実現する貴重なツールです。R-J2は、効率的なウェーハ処理のための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。それはそれを半導体生産ラインのための理想的な選択にするさまざまな特徴および利点を提供します。FANUC R-J2は、精密な位置決め、堅牢な設計、および統合機能を備え、ウェーハ処理プロセスを改善するためのあらゆる半導体製造工場に不可欠なツールです。