中古 FANUC R-2000iB 210F #9082128 を販売中

FANUC R-2000iB 210Fは、ウェーハの積み降ろし処理を自動化するウェーハハンドラです。この装置は、ウェーハの種類や向きを認識し、仕様に応じて向きを設定することができます。ストレージカセットからクラスタや基板へのウェーハのロードとアンロードを完全に自動化するために作成されています。この高効率化により、ウェーハ加工において最高の歩留まりを実現します。FANUC R2000IB 210Fウェハハンドラは8インチと12インチの両方のウェハーが可能で、最大200mmサイズのウェハカセットに対応できます。このシステムは、3軸の動きを含むリニアロボットアームを備えており、ロボットが高精度の積み下ろし作業を行うことができます。ロボットアームには、2×4の構成で最大8つのウエハを保持できる真空ツールが装備されています。このハンドラは、標準的な半導体プロセスツールを含む既存の自動装置とスムーズに統合するように設計されています。このハンドラーには、オンラインユニットの正確なウェハローディング/アンロードも装備されています。R-2000IB/ 210Fウェハハンドラは、安全性と信頼性を念頭に設計されています。この高解像度カメラマシンは、手動でロボットアームを調整する必要なく、ウェーハのずれを検出して修正するように設計されています。また、ウェーハを損傷や汚染から保護するように設計されたセキュリティ機能も内蔵しています。このハンドラには、エラー回復ツールも内蔵されています。これは、問題を特定し、問題が修正されるまでそれ以上の動作を停止するように設計されています。R-2000iB 210Fウェハハンドラは、高効率で信頼性の高い資産であり、最高品質のウェハローディング/アンロード性能を提供します。精密で柔軟なロボットアーム、ウェーハプロセスの流れへの容易な統合、および安全性と品質の特徴を備えたFANUC R-2000IB/ 210Fウェーハハンドラは、ウェーハを迅速かつ正確にロードおよびアンロードするための理想的な選択肢です。