中古 FANUC R-2000 IB #9251417 を販売中

FANUC R-2000 IBは、半導体産業における高速・高精度のウェハハンドリング用に設計されたロボットウェハハンドリング装置です。6軸ロボットアームを搭載し、高度なモーションコントロールとビジョンシステムにより、高精度なウェーハ処理を実現します。FANUC R2000IBは、毎時200個のウェーハを処理でき、80mm/secの速度に達します。高精度の6軸ロボットエンドエフェクターは、ピックアンドプレイスの動きやソートなど、さまざまなハンドリング操作に対応するウェーハの柔軟で正確な位置決めを提供します。これにより、最大200mmまでの小型ダイサイズから、幅広いサイズ、形状、材質のウェーハを取り扱うことができます。このビジョンユニットは、IB R-2000自動化された操作のための主なツールであり、高解像度カメラマシンを使用して個々のダイまたはウエハー面を認識するように構成することができます。この視覚的なフィードバックは、ロボットとウェーハのずれを最小限に抑え、人間の介入を最小限に抑えながら正確かつ再現性の高い処理結果を保証します。ツールの管理も、FANUCまたはサードパーティのサプライヤーから利用可能なさまざまなソフトウェアアプリケーションによって簡単に行われます。これにより、ユーザーはロボットの操作をカスタマイズし、ウェーハ処理用のdesakableプログラムを作成し、パス数、振動、その他の動作パラメータを含むすべての運用データを追跡および記録することができます。R2000IBは、その広範な安全機能と組み込みのフェイルセーフのおかげで非常に信頼性の高い資産です。これには、フォースセンシングモデル、冗長アクチュエータ、および予期しないイベントを検出および修正するための高速検出ループが含まれます。これにより、安全で心配のない作業環境が確保され、生産中の混乱を最小限に抑えた柔軟で正確なウェーハ処理が可能になります。