中古 FANUC N-61 #9168237 を販売中

FANUC N-61 Wafer Handlerは、半導体およびナノテクノロジー産業向けに特別に設計された、高速、多軸ウェーハ自動化装置です。このシステムは、直径80mmまでの範囲で、最大30ウェーハを収容することができます。それは容易な機械操作のためのフル機能のグラフィカルユーザーインターフェイスが装備され、適用範囲が広いプログラム可能な制御アーキテクチャおよび統合された動き制御プラットホームがあります。N-61 Wafer Handlerには、滑らかで正確なモーションコントロールを提供する最適化されたドライブユニットがあり、アイドル時間が短縮されます。また、高度なモーションコントロールプラットフォームを備え、高いデータ処理能力を備えているため、迅速かつ正確なウェーハ処理が可能です。このツールは、高度なセンサーと制御アルゴリズムによって支えられており、すべての自動プロセスの精度と一貫性を確保するのに役立ちます。ファナックN-61ウェーハハンドラは、フォトレジストコーティング、エッチング、検査などの半導体製造に使用されるウェーハの取り扱いに最適です。ウェーハの搬送・回転・配向が可能であり、正確な位置決めやアライメント・配向機能も備えています。さらに、このアセットは、処理機からウェーハを積み重ね、積み込み、アンロードするプロセスを自動化することができます。さまざまなスマートサーボモータを使用して、ウェーハを基板上に正確に配置しながら、さまざまなウェーハサイズを正確に移動および回転させることができます。さらに、この装置は、所定の経路に沿ってウェーハを再配置することができます。また、短い移動サイクルでも、最大100mm/sの速度で移動できます。柔軟なレイアウトで、あらゆる用途に合わせて簡単にカスタマイズできます。N-61ウェーハハンドラーには、ロボットのピック&プレイスシステムも改良されています。統合されたピックアンドプレイスヘッドにより、マルチフィンガーチャックからのウェーハの高速かつ正確なロードとアンロードが可能になり、コストと時間のかかるアクションを排除できます。このユニットには、さまざまなセンシングおよび安全機能が含まれており、ESDやCEなどの国際規格に準拠しているため、機械の安全な操作が可能です。結論として、FANUC N-61 Wafer Handlerは半導体産業のために特別に設計された先進的な産業用グレードのツールです。ウェーハハンドリングへの柔軟なアプローチを提供し、高速、正確、正確なモーションコントロールを提供します。この資産は、業界標準に準拠した安全で安全なため、幅広いウエハハンドリングアプリケーションに最適なソリューションです。