中古 FANUC M900iA 350 #9082130 を販売中

FANUC M900iA 350は、日本のロボティクスおよびオートメーション会社FANUCが開発したウェハハンドリング用の先進ロボットアームです。ウェーハを精度、スピード、機敏さで操作できるように設計されています。M900iA 350は、高い再現性と精度を備えた6軸ロボットです。クリーンルームウエハの製造など、清浄度が要求される環境に適しています。洗練されたリードスクルーベースのキネマティクスは、正確な動きと位置決めを提供します。この機能により、欠陥率を最小限に抑え、破壊を最小限に抑えたウェーハを製造できます。FANUC M900iA 350には高度なセンサーとシステムが搭載されており、ウェーハを損傷することなく正確にグリップ、解放、転送を行うことができます。ロボットは特別に設計されているため、攪拌中にウェーハが抜けません。また、チャンバー内のウェーハの有無を検出できる装置を搭載し、より高い精度とスピードで位置決めが可能です。さらに、ロボットは自己診断とエラー検出が可能です。ロボットのペイロード容量は350kgで、ワークスペースは直径1,400mmで、最大到達範囲は1,050mmです。この範囲は標準的な操作で十分以上です。ベースプレイスは床上55mmまで調整可能で、ロボットの頻繁な移動を可能にします。ロボットには、職場の安全要件を満たす安全監視システムが内蔵されています。M900iA 350は、オペレータに利便性と精度を提供するウエハーを扱うための高度な産業用ロボットアームです。その信頼性と正確な動作により、生産の歩留まりが向上し、生産エラーが少なくなります。ウェーハグリップ、検出、エラー処理などのこのロボットの機能は、ウェーハ製造プロセスに大きな利益をもたらすすべての資産です。