中古 FANUC M900iA 260L #9266514 を販売中
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ファナックM900iA 260Lウェーハハンドラは、半導体ウェーハプレートを加工の1段階から別の段階に移動するために主に設計された洗練された産業オートメーション機器です。各ジョイントにプログラマブルサーボモータを搭載した6軸産業用ロボットで、精密かつ反復可能な動作を提供します。このロボットにはオンボードビジョンシステムも装備されており、ウェーハ上のバーコードやマーカーを読み取って識別することができます。ロボットの全長は2。6メートルで、大型ウェハローディング/アンロード用途に適しています。ACサーボモータとアンプのクローズドループ式デジタルコントロールユニットを搭載し、優れた動作精度と再現性を実現しています。モータは、デジタル通信リンクを介してロボットの制御機に接続され、リアルタイムの調整と監視により、高精度性能を実現します。アセットの制御ソフトウェアにより、データベースからデータを保存および取得でき、デバッグとメンテナンスが容易になります。このロボットはマルチコンポーネント構造モデルも備えており、実装ハードウェアと構造を素早く簡単にカスタマイズできます。この装置は、ロボットの精度と剛性を最大限に高め、ロボット部品の振動や疲労のリスクを低減するように設計されています。高性能サーボモータ制御システムに加えて、M900iA 260Lウェハハンドラには、フォーストランスデューサや環境センサなどの高精度センサも搭載されています。これらのセンサーは、ロボットの動きを正確に監視し、ロボットが安全かつ正確に動作するようにするために必要です。FANUC M900iA 260Lウェーハハンドラは、ウェーハプレートの取り扱いを含む高精度なオートメーション作業に最適です。その強力なサーボモータ制御ユニットとセンサーの配列は、ユーザーのオートメーションのニーズに信頼性の高い正確なソリューションを提供します。このロボットは、マルチコンポーネントの建設機械も備えているため、特定のアプリケーションに合わせて簡単にカスタマイズできます。
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