中古 FANUC M16iL #9082132 を販売中

FANUC M16iLウェーハハンドラーは、200mmおよび300mmウェーハのハンドリング用に設計された精密自動装置です。堅牢な構造により、ウェーハをさまざまな方向に素早く正確に移動させることができ、ウェーハの検査とアライメント、シングルテープ検査、マルチループ処理など、幅広い機能を備えています。M16iLはハンドリングアーム、ウェハサポート、ホットリンク移動装置、XYテーブル、制御ステーションで構成されています。最大転送速度は140mm/秒、最大加速度7500mm/秒 2です。機械の再現性は+-0。05mm以下であり、最大2000kgの可動負荷を可能にします。ハンドリングアームは、アルミサーボモーターベースをサポートする一連のアルミプロファイルと、最大150kgのペイロードで構成されています。アームは同期駆動システムを介して動作し、ウェーハ全体を効率的にカバーすることができます。アームは回転、リニア、変換の動きに設定でき、0〜190度の回転が可能で、ウェーハ治具からロボットグリッパーまで、アークのような動きで180度まで上がることができます。ウェーハサポートは、ウェーハのサイズをホルダーのサイズに調整するモーター式のスライド式ベースプレートです。クローズドループユニットとモーターにより、正確かつ正確に制御されます。ベースプレートの動きは、3つのサーボモータによって管理されています。ホットリンク移動機は、傷のX軸とY軸に沿ってウェーハを正確に配置するために使用されます。そのために、ホットリンクには4つのステッピングモーターが装備されており、ウェハの配置の精度と速度が保証されています。XYテーブルは、ウェーハ転送機の中央ステーションです。4つのリニアスライド、2つのサーボモータ、2つのステッピングモーターで構成され、機械のXとYの動きを制御します。FANUC M16iLは、XYテーブルにより最大30mm/sの速度に達することができ、高速ウェハ転送が可能です。M16iLの制御ステーションはオペレータと機械の間のインターフェイスです。制御ステーションは滑らかな開始および停止機能、タッチパネルの表示および機械を制御するための10のチャネルのような特徴の範囲によって容易な操作を可能にします。結論として、FANUC M16iLは、最大200mmおよび300mmのウェーハに対応できる精密自動ウェーハ処理機です。幅広い機能を持ち、ホットリンクの動きを利用し、0。05mm以下の再現性を有しています。制御ステーションは簡単な操作を可能にし、効率的で迅速なウェーハ転送を保証するさまざまな機能を備えています。