中古 FANUC M16iB20 #9083591 を販売中

FANUC M16iB20は、半導体ウェーハを製造現場で搬送・組み立てるロボットアームウェーハハンドラです。FANUC M-16 IB/20は、ペイロード容量が20kg増加し、制御性が向上します。また、新たに設計されたリストケーシングと、より正確なウエハハンドリングのための改良されたエアクッション装置を備えています。このウェハハンドラは6つの同期軸を備えており、ロボットアームの6つの部分を同時に動かすことができます。これにより、ウェーハ処理タスクを実行する際の速度と精度が大幅に向上します。また、ウェハハンドラは、最大限の柔軟性を可能にするユニークなティーチペンダント機能を備えています。この機能は、3。6インチのティーチペンダントタッチパネルで構成され、ロボットのシステムに直接アクセスし、英語、フランス語、ドイツ語、スペイン語、中国語、日本語などの共通言語をサポートします。ティーチペンダントは、ユーザー定義のウェーハモーションプログラムも可能です。M16iB20には、ロボットの側面にある緊急停止ボタンなどの安全機能と、ロボットの意図しない動きを防止するためのいくつかの緊急停止指標が含まれています。統合された安全ユニットには、ウェーハと環境の間のより良いシールのための安全機械化されたアームが組み込まれており、手が腕に近づきすぎるとロボットの動作を自動的に一時停止する安全検出機が含まれています。最後に、コントローラソフトウェアは、ウェーハの安定したグリップを確保するためにロボットのグリップ力を正確に調整する動力制御機能を備えています。M-16 IB/20ウエハハンドラを使用することで、高性能なウエハハンドリングを高精度かつ高速に行えるため、製造工程の自動化が可能です。様々な治具での使用に適しており、高精度の自動ウェーハ処理アプリケーションに最適な製品です。