中古 FANUC M-6iB #9111790 を販売中
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ID: 9111790
Robot system
FANUC R-J3IC controller
i-Pendant (Teach Pendant)
Cables
Axes: 6
Payload: 6 kg
H-Reach: 1373 mm
Repeatability: ±0.08 mm
Robot Mass: 135 kg
Structure: Articulated
Mounting: upright, inverted, wall, angle.
FANUC M-6iB 6軸ウェーハハンドラは、ウェーハを取り扱う先進的なロボットソリューションです。FANUC Roboticsが開発した多目的ウェーハハンドラは、ウェーハの検査・選別、マイクロエレクトロニクス部品の自動組立、ウェーハレベルの包装など、さまざまな作業が可能です。M-6iBの最大積載量は3kgで、最大作動半径は600mmです。この範囲内で、ウエハハンドラは+-0。05mmの再現性で様々な位置に到達し、決定することができます。高耐久性、メンテナンス不要の強化プラスチックコーティングを搭載し、ボールスクリュー駆動機構により耐荷重と加速性に優れています。FANUC M-6iBは、6軸構成の多彩な動作範囲を提供します。最初の軸は最大214度の繰り返し手首回転、2番目の軸は最大210度のピッチ傾斜です。リニアスライド軸は最大360mmのストロークを提供し、特別な旋回軸は単一の場所で360度の回転を可能にします。最後の2軸は+-225度のライダーシップ角を提供します。プログラミングに関しては、このウェハハンドラはMotion Code言語を使いやすいプログラミング方法として、またFANUCの高度なPCベースのソフトウェアとして提供しています。FANUC ROBOGUIDEシミュレーションとプログラミング環境により、ユーザーはウェーハハンドラの動きを視覚化、シミュレーション、プログラミングすることができます。ペイロード容量、再現性、動作範囲、簡単なプログラミング機能により、M-6iB 6軸ウェハハンドラは半導体業界のさまざまなアプリケーションに適しています。その堅牢なデザインとパワフルで汎用性の高い機能により、ウェハハンドリングのニーズに最適です。
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