中古 FANUC F-200i #166084 を販売中
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FANUC F-200iは、幅広い産業用途向けに設計された包括的なウエハハンドラです。自動化されたシステムでウェーハの転送、ソート、方向付けを自動化するのに役立ちます。これにより、オペレータの介入とダウンタイムを最小限に抑えて、ウェーハの転送とソートを大幅に正確かつ迅速に行うことができます。F-200iのベースフレームはステンレス製で、スタッカーバックプレートと高精度のボールスクリューモーションシステムによって駆動されるロボットを使用しています。ロボットアームは、放射軸と角軸の両方に沿って回転します。これらの直立したロボットアームは、基部に沿った4点接触で安定性を維持し、滑りや傾きの可能性をさらに低減します。FANUC F-200iの底に集塵ユニットを配置し、機器に侵入する粉塵やその他の粒子の防止を支援します。産業グレードの真空ファンと冷却ファンが最適な温度を制御し、維持します。このシステムには、集塵モニターも含まれており、ユーザーが集塵を監視および警告するのに役立ちます。F-200iには、統合ビジョンモジュールユニットと特許取得済みのビジョンセンタリングデバイスも含まれています。このデバイスは、ロボットアームに適切かつ正確にウェーハをセンターガイドピンを使用します。ビジョンモジュールマシンは、さまざまなウェーハやデバイスからのすべての光学情報を監視およびキャプチャします。このデータは、FANUC F-200iの内部ソフトウェアによって収集・分析され、ウェーハが適切にリリースされるようにします。F-200iには、外部システムとの相互接続、通信、データ交換のための柔軟でオープンなネットワークプロトコルが組み込まれています。データは、最終セッションの繰り返しサイクルと将来の処理ニーズのために内部データベースにも保存されます。FANUC F-200iは、優れた精密制御、安全機能、インターフェースにより、迅速かつ正確なウエハハンドリングが要求されるさまざまな産業用途に最適です。
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