中古 FANUC Alpha T14iEe #9244558 を販売中

FANUC Alpha T14iEeは、ロボティクス大手のFANUCが開発したウェハハンドラです。Alpha T14iEeは、生産性の高い完全自動化されたウェーハハンドラで、1時間あたり最大3500ウェーハの速度に達することができます。T14iEeには、多段真空ロボット、コンパクトで自己完結型の積み降ろしステーション、および柔軟なプレート駆動トランスファーシステムが備わっています。多段真空ロボットは、正確なピック操作と配置操作のために設計されています。それは高速、正確な配置、および拡張作業エリアによって特徴付けられます。コンパクトな積み下ろしステーションは、短いサイクル時間と高い生産スループットを可能にします。トランスファーシステムはプレート駆動で、さまざまなトレイフォーマットと寸法を可能にする調整可能な要素が含まれています。T14iEeは、3インチと5インチのウェーハサイズの両方に対応するように設計されています。このロボットは、コーティング、ベーキング、ラミネート、スピンコーティングなどのさまざまなレシピとその他の機能をプログラムすることができます。また、T14iEeは高度なサードパーティシステムと統合することで、効率性とプロセス制御を向上させます。T14iEeには、ウェハロック、位置センサー、エッジセンサー、PLCインターフェイスなどのオプション機能が装備されています。ウェーハロックは、ロボットの滑り落ちを防ぐことにより、ウェーハの安全な輸送を保証します。位置センサーは、ウェーハの正確な配置を確保するのに役立ちます。エッジセンサーは、ウエハエッジの損傷を検出します。PLCインターフェイスは、外部PLC（プログラマブルロジックコントローラ）との自動制御と通信を可能にします。T14iEeは常に信頼性の高いパフォーマンスを提供し、ウェハハンドリングのニーズに最適です。ロボットはSEMI規格にも準拠しており、精度と安全性のために業界最高の仕様を満たしています。T14iEeは非常に効率的で、コンパクトなサイズで狭いスペースに収まることができます。その汎用性、高速性、使いやすさ、幅広い機能を備えたT14iEeは、ウェーハ処理のための強力で信頼性の高いソリューションです。