中古 FANUC 90-30 #191354 を販売中

FANUC 90-30は、産業用ロボットのリーディングカンパニーであるFANUCが製造した自動ウェハハンドラです。さまざまな自動システムと統合されるように設計されており、1つの機器で複数のウェーハ処理アプリケーションを簡単に管理できます。この装置は、ベースシャーシ、2つのコンベアステージ（複数のコンベアアームから成る）、および1つ以上のウェーハキャリアで構成されています。非常に効率的で柔軟なシステムとして設計されており、異なるウエハーのサイズと数を扱うことができます。コンベアアームは全方向設計で、あらゆる方向に自由に動くことができます。さらに、このユニットには真空グリップ機が搭載されており、キャリアとコンベア間のウェーハの迅速かつ安全な輸送を可能にします。このツールは、最大800mm/sの高速輸送が可能で、高スループットを保証します。また、強力な吸引アームと調整可能な速度コンポーネントを備えており、敏感なウェーハ材料の取り扱いを改善しています。また、ウェーハアライメントと位置検出を自動化し、ウェーハの位置を特定して最適な処理を行うことができます。また、ダストコントロールシステムを搭載しており、ウェーハが環境に影響を与えないようにしています。90-30は信頼性が高く、一貫性があり、MTBF（平均故障前の時間）を1,000,000時間以上誇り、最も集中的な産業アプリケーションにも適しています。このモデルは、最大100のプログラムを格納することもでき、すべての操作を正確に制御できます。その性能と信頼性に加えて、FANUC 90-30も最大限の安全性のために設計されています。緊急停止機能を備えており、危険な状況が発生した場合に停止できるほか、部品の清掃やメンテナンスシステムを別途用意し、すべての部品を清潔に保つことができます。90-30はウェーハ材料を扱うための理想的な選択です。革新的な設計、高速輸送、自動ウェーハアライメントおよびダスト制御システム、および信頼性の高いパフォーマンスにより、あらゆる種類の自動ウェーハハンドリングアプリケーションに最適です。