中古 FANUC 430iW #9082135 を販売中

FANUC 430iWは半導体産業のための高性能ウエハハンドラです。ウエハ基板の取り扱いにおいて最大限の効率と品質管理を確保するために、最新の技術で動作するように設計されています。この装置は、XYZウェーハハンドラー、柔軟なアクティビティ制御モジュール、さまざまなセンシングシステムなどの基本コンポーネントで構成されています。430iW XYZウェーハハンドラは、ウェーハ基板の取り扱いを機械化する調整可能なリニアモーションシステムです。5マイクロメートルの高速動作とモーションコントロール精度が可能で、安定した性能で精密なウェーハ処理と操作が可能です。リニアモーションレールに搭載されたモーターは、複数の軸で同時および調整可能な動きのために同期することができます。フレキシブル活動制御モジュールは、FANUC 430iWのリアルタイムコントローラです。プログラマブルオートメーションを可能にし、ウェハハンドラをさまざまなタスクに合わせて調整できます。Flexible Activity Control Moduleは、ユニットの動作を調整および監視し、モータの動きを制御し、センサーに応答し、モータからの熱、圧力、およびトルク出力を制御します。430iWは複数のセンサシステムと統合されており、さまざまなウエハ処理作業における全体的なパフォーマンスを向上させています。真空圧力を監視し、ハンドリング時にウェーハを確実に保持するために必要な力を調整する真空センサ機を搭載しています。フォースセンサツールは、操作中にウェーハにかかる力を監視し、必要に応じて調整します。また、ウェーハの自由落下を検知する「落下検出」センサーを搭載し、潜在的な損傷を防ぎます。FANUC 430iWは、半導体業界向けの高性能ウエハハンドリングソリューションです。XYZウェーハハンドラ、フレキシブルアクティビティコントロールモジュール、各種センシングシステムを組み合わせることで、ウェーハ基板を取り扱いながら、精度と高速動作を実現します。これにより、多くの先端技術の製造に使用するための信頼性が高く、堅牢な資産となります。