中古 FANUC 420iL #9000729 を販売中
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FANUC 420iL Wafer Handlerは、半導体製造に使用される多機能の自動ウェハハンドリングソリューションです。420iLは、手作業コストを削減し、生産性を向上させるとともに、多機能機能により一貫した製品品質を提供するように設計されています。FANUC 420iLは、200mm〜300mmの範囲のウェーハや、30mm〜300mmのフラットパネルディスプレイに対応しています。ウェーハを最大8層まで積み重ねることもできます。420iLは16ビットロボットコントローラを備えており、コマンドを素早く実行しながら高い精度と再現性を提供します。FANUC 420iLはまた、効率的かつ正確なウェーハ転送と位置決めを可能にする改良された2軸パラレルリンク機構を備えています。また、オリエンテーションセンサーが付属しており、脆弱な動作中にウェーハを正確に配置することができます。420iLは、高速転送ユニットと高速プリアライメントシステムにより、最適化されたウェーハスループットを提供します。これにより、要求の厳しい半導体製造プロセスでの迅速かつ正確なウェハ転送が可能になります。FANUC 420iLの性能は、省エネ制御回路と省エネ駆動システムを使用して最適化されています。420iLは高い塵、化学薬品および粒子の汚染の環境で働くように設計されています。ASEP 2。0技術を搭載し、粉末や粉塵などの粒子をろ過し、高い清浄度を実現しています。ファナック420iLは、ウェーハの存在検出システム、緊急停止スイッチ、過速度検出機能などの高度な安全機能も備えています。要するに、420iLは手動操作コストを削減し、生産性を向上させるように設計された自動ウェーハハンドリングソリューションです。16ビットロボットコントローラと2軸パラレルリンク機構を備え、高い精度と再現性を提供します。FANUC 420iLには、ウェーハスループットの最適化と高度な安全機能が搭載されており、信頼性と滅菌性に優れています。これにより、420iLは産業用ウエハハンドリングアプリケーションに理想的な選択肢となります。
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