中古 FANUC 420F #9001350 を販売中

FANUC 420Fは、FANUC Robotics社製のウエハハンドリングロボットです。半導体製造においてシリコンウェーハを扱うために設計されています。420Fの主な特徴は、運動、性能、信頼性、重量の4つの分野にあります。動きはSCARA（選択的コンプライアンスアセンブリのロボットアーム）および6軸の連結ロボットアームから成っている2アーム構成によって可能になります。これらを組み合わせることで、迅速かつ正確な直線移動と角度移動を可能にし、広い領域をカバーすることができます。また、ダイレクトドライブジョイントスライドタイプのアブソリュートエンコーダと組み合わせることで、高精度なモータ駆動サーボモータによりパフォーマンスが向上します。これにより、サイクルタイムが速くなり、作業エリアが増加します。FANUC 420Fの信頼性は、脆弱なウエハーに対応するよう設計されているため、動作中の基本的な要因です。このように、ロボットには、ロボットステータスモニター、アーム保護カバー、水冷モータ、トルクセンサのオプションなど、いくつかの保護機能が装備されています。さらに、420Fは信頼性の高いオートメーションのためのビジョンベースのフィードバックを組み込みます。この機能により、ロボットはウェーハから位置情報を直接受信して操作を容易にすることができます。ロボット自体の重量は約894ポンドで、一度に最大12個のウエハを処理できます。オプションで、このロボットにピックアップアームを装着することもでき、同時に作業できるウェーハの数をさらに増やすことができます。さらに、バッテリーレスのメモリカートリッジとI/Oユニットが付属しており、ロボットは外部条件に影響されることなく動作できます。要するに、FANUC 420Fは、モータ駆動サーボモータ、ビジョンベースのフィードバックシステム、および信頼性の高いオートメーションを保証する保護機能などの高度な機能を利用した信頼性の高い強力なウェーハハンドリングロボットです。2アーム設計と最大12個のウエハを同時に処理できるため、半導体製造に最適です。