中古 FANUC 410 #9000722 を販売中

FANUC 410は、半導体ウェーハ処理用に設計された自動ウェーハハンドラです。ウェーハとウェーハカセットキャリアを様々な生産モジュール間で輸送する完全統合型のロボットウェーハ搬送装置です。工場環境内でウェーハやキャリアを正確かつ正確に転送するための効率的で信頼性の高い方法です。410の中核は、高度な自動ウェーハ転送システム（AWTS）です。このユニットは、ロボットアーム、ビジョンマシン、センサー制御、およびPCソフトウェアで構成されています。アームは堅牢で信頼性が高く、ソースから目的地まで正確かつ一貫して移動できるように設計されています。このビジョンツールには、CCDカメラとさまざまな関連光学系が含まれており、輸送中のウェーハを効率的かつ正確に識別する方法を提供します。センサーコントロールは、輸送中に発生する問題を検出するように設計されており、ウェーハとキャリアが常に正しく処理されるようにしています。最後に、このソフトウェアは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと、正確さを維持し、エラーを最小限に抑えるためのさまざまなコントロールを提供します。FANUC 410には、機能を強化するために追加できるいくつかのオプション機能もあります。例えば、ウェーハクリーナー/スクラバー資産を追加することで、ウェーハやキャリアを化学物質や汚れから解放し、汚染の可能性をさらに低減できます。さらに、ウェーハポジションインデクサを追加して、ウェーハとキャリアが常に一貫した既知の位置に適切に配置されるようにすることができます。410は最大200個のウェーハを搭載可能で、最大120m/minの速度での移動が可能で、スループットを向上させます。高品質で特別に設計されたモーターとサーボドライブは、効率的で信頼性の高いオートメーション機器です。FANUC 410は、サービスとメンテナンスが容易に行えるように設計されており、大規模な生産環境において費用対効果の高い選択肢となっています。最後に、その安全機能には緊急シャットオフとESD保護が含まれ、410はウェーハ生産のための安全で信頼性の高いオプションとなります。