中古 FANUC 120i #9111893 を販売中

ファナック120iは、精度と精度を追求した産業用ウェハハンドリングロボット装置です。このシステムは、半導体やマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）など、さまざまな業界のウェハレベルのプロセスを処理するのに最適です。120iウェーハハンドラは統合された設計を備えており、2軸マニピュレータと5軸の両方の機能を備えています。5軸モーションは、ウェーハの正確で自動処理を可能にする幅広い動作を提供します。統合された設計には、信頼性の高い位置決めコンポーネントも含まれています。FANUC 120iは、床面積を最小限に抑えたコンパクトサイズに設計されています。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーはさまざまな機能にすばやくアクセスできます。オペレータは、ロボットアームの速度、加速度、トルクレベルをカスタマイズして、必要な操作に最も適しています。120iは、高耐久性と過酷な産業環境に耐えるように設計された精密製のステンレススチールフレームで構成されています。ロボットアームは5つのモーターで構成されており、気密チャンバーに密閉されているため、優れた方向精度が得られます。これはまた、ロボットが非常に小さな動きの増分で操作を実行できることを保証します。また、FANUC 120iは、プロセス中のウェーハのイメージングおよび検査用カメラユニットを備えています。6点照明機を使用して品質を比較し、信頼性の高い検査結果を提供します。ロボットフィーダーツールは、ウェーハをロボットアームに素早く積み込み、接触や損傷なしに正確にアンロードすることができます。120iには、ウェーハの回転ツールも含まれており、ウェーハの垂直方向または水平方向のどちらかの位置に正確に向けることができ、すべてのウェーハレベルの動作の正確さを保証します。アセットには、ロボットアームがエリア内のあらゆる物体を感知したときに動作を停止するセーフティセンサーが含まれています。これにより、オペレータの安全を確保し、事故のリスクを最小限に抑えることができます。FANUC 120iは効率と精度を念頭に置いて設計されており、長年にわたり信頼性の高い動作を保証しています。精密なウエハハンドリングを必要とする業界にとって理想的なソリューションであり、ダウンタイムと手作業を削減しながら効率的な作業を提供することができます。