中古 F-ONE CAL-1A01-Z30R35 #9111141 を販売中

F-ONE CAL-1A01-Z30R35は、8mm （1/3インチ）のハブキャリア上で最大200mm （8インチ）の直径のウェーハを正確に処理するように設計されたウェーハハンドラです。これは、統合されたオンラインチュートリアルと自動化されたモジュラー設計を備えています。ウエハハンドラの本体は、モジュールベースとモジュールボディで構成されています。モジュールベースは、EMIシールド内装の鋳造アルミベースです。ベースの上には、アルミニウムでもあるモジュール本体があり、ウェーハローディングフランジと真空ピックアップポートをサポートしています。内部部品とウェーハ処理機構のすべてがモジュール本体の内部にあります。ウェハハンドラには、真空、真空検出、ガスパージ、モーションコントロール、ウェハースキュー、およびA/Vモジュールの6つのシステムモジュールがあります。真空モジュールは、最大25種類のウェーハサイズに対応できる真空ピックアップポートで構成されています。それはまた正確な制御を提供するために統合された真空制御システムを含んでいます。真空検出モジュールは、光、静電容量、熱、または音響などのさまざまな方法を使用して、ハンドラ上のウェハの存在を検出するために使用されます。ガスパージモジュールは、ウェハハンドリングプロセスにクリーンな大気環境を提供するために使用でき、さまざまなプロセスレシピにカスタマイズできます。モーションコントロールモジュールは、ウェーハハンドラの動きと速度と加速度を制御するために使用されます。また、カスタム軌道をプログラムするために使用されるコンピュータ数値制御（CNC）インターフェイスも含まれています。Wafer Skewモジュールは、ウェーハが適切な位置にウェーハハンドラにロードされるようにするために使用されます。検出技術を使用してウェーハ位置を検出し、ハンドラに入り、必要に応じて調整することができます。最後に、A/Vモジュールはホストコンピュータと他のコンポーネント間の通信に使用されます。これにより、ユーザーはウェーハハンドラのパフォーマンスをマシン外から監視および制御できます。結論として、8mm （1/3インチ）のハブキャリア上で最大200mm （8インチ）の直径のウェーハを正確に処理するように設計されたウェーハハンドラがCAL-1A01-Z30R35です。自動化されたモジュラー設計と6つのシステムモジュールを備えており、ウェーハを処理しながら正確な制御と精度を提供するように設計されています。このデバイスは、さまざまなアプリケーションに使用でき、さまざまなプロセスレシピに簡単にカスタマイズできます。