中古 EVG / EV GROUP S08P4I.RD #9022851 を販売中

ID: 9022851
Robot (GENMARK), 6" P/N: 9900107161 For EVG 620 Aligner system Low hours 2001 vintage.
EVG S08P4I.RD Wafer Handlerは、直径8インチ、高さ15。75インチまでの基板を処理するように設計されたコンピュータ制御の精密ウェーハ処理装置です。S08P4I.RD Wafer Handlerは最高レベルの精度と再現性を提供し、寸法公差と最大1。2mmの温度均一性を正確に制御できます。ウェハハンドラは、ICデバイス製造、プロセスエンジニアリング、光学デバイス製造、フォトリソグラフィなど、幅広い用途向けに設計されています。S08P4I.RDウェーハハンドラはメインフレーム、ロボットアーム、ウェーハホルダーで構成されています。メインフレームは鋳造アルミニウム製で、正確な高さ調整のための電動Z軸を備えています。ロボットアームは操作可能で、ウェーハが正確に配置され、正しいパターンで指向されていることを確認するための高度な制御システムが含まれています。ウェーハホルダーはステンレス製で、4本の独立したアームを内蔵しており、ウェーハ基板を確実にクランプします。S08P4I.RD Wafer Handlerは高度に構成可能で、あらゆるアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズできます。高度なビジョンユニットを装備しており、ウェーハの正確な位置を確保し、温度の均一性と一貫した性能を確保するための制御装置を内蔵しています。ウエハハンドラはメンテナンスやアップキープが容易な設計となっており、ヒンジ付きアクセスドア、ツーリングスロット、交換可能なテープベッドを備えています。S08P4I.RDウェーハハンドラは、過熱、過電流、過電圧保護など、さまざまな安全機能を提供します。保護のすべての形態はさまざまな操作の必要性を満たすために調節可能です。また、基板の安全な位置決めを確保するために、コンピュータインターフェイスを介してプログラム可能な柔軟な真空ピッキングツールが装備されています。さらに、安全レーザー資産は、障害が発生した場合にすべての動作を停止します。S08P4I.RD Wafer Handlerは効率的で信頼性の高いウェーハハンドリングモデルで、幅広いアプリケーションに高い精度と再現性を提供します。その機能により、高精度の組立と加工に最適なソリューションです。ウェーハハンドラの柔軟性と設定性は、あらゆるアプリケーションにとってさらに価値を高めます。
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