中古 EUNIL ESU-500N #293608851 を販売中

EUNIL ESU-500Nは、チップ製造プロセス中の半導体ウェーハの動きを制御するために設計された、精密で自動化されたウェーハハンドラです。ESU-500Nは、一貫した品質と精度を維持しながら、1サイクルあたり最大15個のウェーハを高速で処理できる高性能ウェーハハンドラです。EUNIL ESU-500Nの中心は、X、 Y、 Z軸で動作する独自のサーボ制御装置です。これにより、ウェーハとハンドラ間の相対運動が可能になり、ウェーハの正確なピックアップと配置が可能になります。機械設計はステージで構成されており、各ステージは独自のEXB200サーボモーターとコントローラによって駆動されます。すべてのモータを同期させるために、カスタマイズされたボードレベルのアルゴリズムが使用されます。これにより、プロセス全体で精度と再現性のある結果が保証されます。ロボットアームには、センサー、コントローラ、検出器、アクチュエータなど、幅広い周辺機器も装備しています。これらのコンポーネントは、ウェーハを正確にピックアップし、新しく配置された各ダイ上の適切な位置に転送することができます。機械はまたディーゼットの完全性を保障できる真空シールシステムが装備されています。真空シールユニットの設計は、従来の空気圧システム、液体循環装置、超微細シール機構を組み合わせたものです。半導体製造において重要な品質課題であるウェハチッピングの防止に役立ちます。ESU-500Nは、誤った動作を防止し、誤った操作による損傷のリスクを最小限に抑えるために、センサーやインターロックなどの安全機能の完全な範囲を備えています。EUNIL ESU-500Nは、手作業の負担を軽減する高度な自動化も備えています。取り扱い、配置、アライメント、検査など、さまざまなプログラムをマシンと接続できます。このインターフェースにより、機械のプログラミングを柔軟に行うことができ、企業は特定のニーズに合わせてプロセスをカスタマイズすることができます。高品質の製品を保証するために、ESU-500Nはそのクラスの最高水準を満たすためにテストされ、認定されています。エポキシ包囲およびセンサーの追跡のような高度の特徴はプロダクトの信頼性そして正確さを保障するのを助けます。結論として、EUNIL ESU-500Nは100mmから300mmまでのウェーハサイズに対応できる信頼性の高い効率的なウェーハハンドラです。ESU-500Nは、その精度、安全性、および高レベルのオートメーションのおかげで、市場の他のウェーハハンドラから際立っています。