中古 EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100 #9256777 を販売中

ID: 9256777
ヴィンテージ: 1995
Controllers For prealigner 1995 vintage.
EQUIPPE TECHNOLOGIES EQUIPPE EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100 Wafer Handlerは、ウェハ処理の精度、純度、速度を向上させるために設計された完全自動装置です。このデバイスは、シングルアームロボットを使用して、直径8。4インチまでの基板を正確に処理します。3度の動作自由度を持ち、位置決めと制御精度を最大限に高めます。ESC-100は、0。12mmから6。00mmまでの基板厚に対応できる特殊センサー、コントローラボード、モーターを搭載しています。ロボットアームには、ウェハの損傷を防ぐために、基板の厚さに応じてグリップ力を自動調整する機構が内蔵されています。ロボットアームは最大2m/sの速度に達することができ、その力の精度は± 0.5N以内です。EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100は、ウェーハ処理プロセスを改善するために設計された多くの機能を備えています。そのインテリジェントな静的摩擦制御システムは、最適な性能と歩留まり向上のために、基板の速度、力、加速などの以前にプログラムされた設定。高い精度と再現性により、幅広い精度アプリケーションに対応できます。ESC-100には、ウェーハ上の異物を検出できる自動グリッドおよび金属検出機が装備されています。これにより、ウェーハへの潜在的な損傷を防ぎ、処理時間を短縮することができます。さらに、ビジョンベースの裏面検査機能により、ロボットは加工中に基板の裏面を検査することができます。EQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100はモジュラー設計を持ち、さまざまな統合オプションを提供します。各部品モジュールは顧客の要求を満たすために容易に変更することができます。このアセットは、ロボットをさまざまなアプリケーションに適応させるために使用できる幅広いエンドエフェクターも提供しています。直感的なプログラミングは、そのプログラミングソフトウェアを通じても利用可能です。EQUIPPE TECHNOLOGIES ESC-100 Wafer Handlerは全体的に効率的で信頼性の高いウェーハ処理モデルです。高精度で再現性があり、最高レベルの効率と歩留まりを実現します。このロボットはまた、幅広い統合オプションを提供しているため、さまざまなアプリケーションに適しています。インテリジェントなオートメーションと高度な機能を備えたEQUIPE TECHNOLOGIES ESC-100は、あらゆるウェーハ処理環境に最適です。
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