中古 ENTEGRIS Ultrapak #9122043 を販売中

ENTEGRIS Ultrapakは、半導体製造の効率を向上させるために設計されたウェハハンドラです。最新の高度なロボティクス技術を使用して構築され、信頼性の高い高速かつ正確なウェーハ転送を保証するために設計されています。これは、ほぼすべてのウェーハ処理プロセスを自動化する柔軟性をユーザーに提供するように設計されています。Ultrapakは、幅広いアプリケーションに合わせたモジュラー設計を備えたスケーラブルなプラットフォームです。それは狭いスペースにそれを絞る設備を可能にする小さい足跡を備えています。インテグリスUltrapakの各フレームには最大4つの個別モジュールが含まれており、さまざまな種類のウェーハサイズ、重量、寸法、材料に対応するようにカスタマイズできます。ウルトラパックウェハハンドラは、ロボットアームを介してウェハをある場所から別の場所に転送することによって動作します。その非接触ロボットテクノロジーは、正確で振動のない完全に自動化されたウェーハ転送のためにサーボモータを使用しています。その高度な特許取得済みのデュアルグリッパーグリッパーシステムは、最大直径50cm、重量30ポンドのウェーハを処理および転送することができます。モジュラー設計により、ユーザーは、取り扱うウェハの種類やサイズに応じて、幅広いベルト、ランナー、リニアまたは回転位置でENTEGRIS Ultrapakシステムを構成することができます。Ultrapakは、処理時間を短縮し、エラーを最小限に抑えるように設計されています。ウェーハ転送プロセスでは、1時間あたり最大200ウェーハの速度を得ることができます。さらに、ダメージを最小限に抑え、転送中にウェーハをそのまま保つように設計されています。ENTEGRIS Ultrapakは、搬送時にハンドラーとウェーハの両方の安全性を確保するために複数の対策を講じる包括的な安全システムを備えています。Ultrapakは長持ちするように構築されており、幅広いサポートオプションが付属しています。同社は、オンラインおよびオンサイトのテクニカルサポート、リモート診断、予防保守プログラムを提供し、顧客のシステムを最適に稼働させます。さらに、ENTEGRIS Ultrapakは、既存の監視制御およびデータ収集（SCADA）システムに簡単に接続でき、監視とリアルタイムのデータ転送が容易になります。