中古 ENTEGRIS Ultrapak #55219 を販売中

ENTEGRIS Ultrapakは、さまざまな半導体製造および試験アプリケーションで使用するために設計されたウェハハンドラです。標準のすべてのウェーハサイズとの完全な互換性を提供し、カセット間カセットおよびロボット間の輸送のためのさまざまな適用を支えます。Ultrapakは、特定のプロセスおよび製品要件を満たすように適応および構成できるユニークなモジュラー設計を備えています。ウェーハをカセットに積み込み、ENTEGRIS Ultrapakユニットに投入した後、ロボットアームがカセットを次の処理ステップに移します。Ultrapakの冗長設計は、機器の故障や汚染のリスクを最小限に抑えながら、信頼性とメンテナンスの面で利点を提供します。ENTEGRIS Ultrapakは、既存のプロセス機器だけでなく、新規でも使用でき、さまざまなオートメーションシステムで動作するように構成されています。内蔵のマルチポジション真空システムにより、処理力が低く振動が最小限に抑えられ、粒子やダメージが少なく、正確で高速なウェーハ搬送が可能です。さらに、Ultrapakは、トランスポータとサセプターを含むデュアルチャンバー設計で構成することができ、さまざまなウェハマーケットからのバッチローディングとインデックス化を可能にします。ロボットアームは、ハンドラ内の任意の位置にウェーハを高精度に配置することができ、1サイクルで複数のウェーハを迅速に配置することができます。ENTEGRIS Ultrapakは、オペレータの安全を確保し、汚染を最小限に抑える最先端の安全機能を備えています。エアフィルトレーションシステムは、プロセスへの汚染物質や粒子の導入を防ぐように設計されており、そのシールドはメンテナンスやクリーニングのために簡単に取り外されます。さらに、高度なセンサーシステムにより、ウェーハの適切なローディングと位置決め、フォルト検出、ウェーハのずれに対する迅速な応答が保証されます。Ultrapakは、Transfer Load Lock、 Wafer Loading Jig、 Wafer Positionerなど、多くのプロセス固有のコンポーネントで設計されています。Transfer Load Lockは、転送が安全であることを保証し、輸送中の汚染と粒子生成のリスクを最小限に抑えます。ウェーハローディング治具は、ウェーハを正確に位置決めするのに役立ち、パーティクル発生を低減する独自のシングルパルスローディング機能を備えています。最後に、ウェーハポジショナーは、高精度のウェーハ配置を提供し、プロセス全体にわたって均一なウェーハフットプリントを確保するのに役立ちます。