中古 ENTEGRIS Ultrapak 1500 #161074 を販売中

ENTEGRIS Ultrapak 1500ウェーハハンドラは、半導体製造アプリケーションのウェーハ処理を効率化し、稼働時間を最大化するために設計された半自動ウェーハハンドリングソリューションです。Ultrapak 1500は、最大4種類のウエハサイズに対応可能で、ウェハローディング、アンロード、アライメントを迅速に行えるように設計されています。ENTEGRIS Ultrapak 1500は鋳造アルミニウムおよび粉コーティングされた鋼鉄からなされる耐久フレームと長い耐用年数を提供する設計されています。このマシンはモジュール構造で設計されており、異なるウエハサイズのカスタマイズと迅速な再構成が可能です。ウルトラパック1500は、安全なウェーハの積み下ろし作業のために、調整可能なフォースフィードバック機能を備えたカスタマイズされた4点サスペンションシステムを使用して、表面を損傷することなくウェーハに適切な接触とグリップを確保します。インテグリスUltrapak 1500は、ウェーハハンドラとカセット間の精密なアライメントを可能にするゼロタッチアライメントオプションを備えています。これは、+/-4ミリメートルの繰り返し精度を持つプログラマブルスキャナを使用して行われ、ウェーハハンドラとカセットの一貫性のあるアライメントを可能にし、ずれによるダウンタイムを最小限に抑えます。Ultrapak 1500には、同軸アライメントに調整可能な自動ウェーハセンタリングステーションも含まれています。ENTEGRIS Ultrapak 1500は、耐久性に優れたステンレス製の真空ピックアップアームで、最大20枚のフルシートウェーハを1サイクルで処理でき、回転速度は最大7,200 RPMです。腕は損傷の危険なしで繊細なウエハの穏やかな処理を保障するために力のフィードバックシステムと設計されています。真空ピックアップアームはサーボモータを内蔵しており、ダウンタイムを最小限に抑えながら、迅速かつ正確なウェーハ処理を実現します。Ultrapak 1500は、操作を簡単に操作できるように設計されており、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーは操作をすばやくプログラムして監視できます。ENTEGRIS Ultrapak 1500は、既存のオートメーションシステムと統合でき、SEMI規格に準拠しています。また、ドアセンサーやリミットスイッチなどの安全機能も内蔵しており、オペレータの安全性を確保しています。要約すると、Ultrapak 1500 Wafer Handlerは半導体製造アプリケーションにおける高速かつ効率的なウェーハ処理用に設計された半自動ウェーハハンドリングソリューションです。ENTEGRIS Ultrapak 1500は操作が簡単な設計で、耐久性のあるステンレス製の真空ピックアップアームで最大4種類のウエハサイズに対応できます。また、高度なアライメントオプション、自動ウェーハセンタリング、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、安全機能も備えています。