中古 ENTEGRIS KA198-80M #293590956 を販売中

ENTEGRIS KA198-80Mは、半導体製造におけるパターニングとイメージングのためのウェハンドラです。フォトリソグラフィーシステムで使用するために設計された統合ロボットプラットフォームです。このウェーハハンドラは、最大4軸の多軸構成と、カセットからカセットに半導体ウェーハを連続的に移動させるためのスレッドタイプのアームとマニピュレータを備えています。KA198-80Mは+80 μ m/single axisの再現性、80 Ampsの典型的な電源、および3m/sまでの定常状態の速度を備えています。セトリング時間の短縮とロープロファイル設計により、サイクルタイムの短縮とスループットの向上を実現します。それは腐食性の環境への露出を防ぎ、最高レベルの制御、精密および正確さを保障する革新的な密封されたロボットアームが装備されています。アームのリフト機構は、最大8インチのウェーハを一度に転送するように設計されています。ENTEGRIS KA198-80Mは傾斜回転機構を備え、各軸に専用のモーターで構成されています。モータは、最大5kgの静的負荷と最大6kgの動的負荷をサポートすることができます。このウエハハンドラの最大傾斜角度は± 4度であり、ウェハICへのターゲット露出を可能にします。KA198-80Mウエハハンドラは、最新のステッチアルゴリズムを使用して、操作中にぶつかったときに迅速に回復します。高度な制御アルゴリズムにより、ウェーハの正確な位置を迅速に特定して再作成することができ、操作を迅速に再開できます。アームのロープロファイルも妨害を排除し、タイトな曲線や通路をナビゲートしながらクリアランスを可能にします。このウェハハンドラは、幅広い半導体製造システムやアプリケーションに統合するように設計されています。ENTEGRIS KA198-80Mは、半導体の製造、試験、特性評価など、さまざまなプロセスに使用できます。単位はプログラムし易く、統合するために密集し、作動するために信頼できるです。KA198-80Mウェーハハンドラは、信頼性の高いハイエンドウェーハハンドラを検索する施設にとって、ニーズを満たすための有用なツールであることが証明されます。