中古 ENTEGRIS KA182-60MB-47C02 #9224930 を販売中

ENTEGRIS KA182-60MB-47C02は、ENTEGRIS社製ウェハハンドラです。ウェーハを一貫して効率的に処理するシンプルで効果的な方法を提供するように設計されています。KA182-60MB-47C02には、搬送サスペンションアセンブリ、ウェーハシッパー、プロセスチャンバーアセンブリという一連のコンポーネントがあります。搬送サスペンションアセンブリは、ハンドラーの前面から背面へのウェーハのスムーズで信頼性の高い転送を提供する責任があります。精密ベアリングとプーリーを駆動するステッピングモータによる軌道駆動機構で、正確な動きを実現しています。また、搬送サスペンションアセンブリをスムーズに上下させるために、ウエハーの乱れを引き起こすことなく、ハサミのリフトを使用しています。ウェーハシッパーは、ウェーハを保管してプロセスチャンバーアセンブリに輸送する場所です。ウェーハシッパーは、真空作動チャックシステムを備えており、ウェーハの迅速かつ簡単なロードとアンロードを可能にします。さらに、統合ビジョンシステムを使用して、ウェーハの正確な積み降ろしのためのウェーハシッパーの位置を監視および調整します。最後に、プロセスチャンバーアセンブリは、ウェーハが処理され、処理される場所です。真空チャンバーを内蔵しており、制御されたプロセス雰囲気を可能にし、ウェーハの適切な処理を保証するためにさまざまなコントロールパネルとユーザーインターフェイスを備えています。さらに、ENTEGRISが特許を取得した独自のドライイン/ドライアウトハンドリング技術により、汚染のない環境を実現します。プロセスチャンバーアセンブリには、制御された信頼性の高い方法でウェーハを正確に移動、操作、および処理するように設計されたENTEGRIS独自のロボット技術も採用しています。ENTEGRIS KA182-60MB-47C02は、高精度で信頼性の高いウェハハンドリングを実現するプロフェッショナルグレードのウェハハンドラです。信頼性の高い正確なウェハ処理を必要とする作業に最適です。