中古 ENTEGRIS HA-200 #9235611 を販売中

ENTEGRIS HA-200は、最先端の自動ウェハハンドラです。このウェーハハンドラは、クリーンルーム環境でウェーハを転送、テスト、ソートすることができます。HA-200は半導体およびマイクロエレクトロニクスの生産ラインのオートメーションのための完全な解決を提供します。この単位は200gまで重量を量る200mm、 300mmおよび450mmのウエファーを扱うことができます。ウェーハは100mm/sまで移動でき、合計転送時間は1秒未満です。ENTEGRIS HA-200は、圧力損失を低減し、一度に大量のウェーハを処理するのに適した大きなチャンバーエリアを備えています。HA-200はウェーハの正確で信頼性の高い転送のために設計されています。ウェーハの適切なアライメントと転送を保証するプログラミング補助機能を備えています。調節可能なウェーハチャックは、ストロボランプ付きで、ウェーハの向きを簡単に調整し、転送の成功を確実にします。ENTEGRIS HA-200は、掃除機とロボットアームの技術を組み合わせて、クリーンルームでウェーハを転送および処理します。最大30ミクロンの位置決め精度と最大10ミクロンの再現性を備えています。ツールレスの切り替え機能と、統合された電源と通信により、セットアップとホーミング時間を短縮できます。HA-200は、既存の製造または製造環境に簡単に適応できます。このユニットは、GAMP5、 FANUC、 JETROなどの様々なコントローラーシステムをサポートしています。また、さまざまなウェーハハンドリングアクセサリー、ウェーハスタッキングデバイス、ウェーハソート機能など、幅広いオプションも含まれています。ENTEGRIS HA-200は過酷な生産環境での使用を想定して設計されています。ステンレススチール製ボディ、密閉空気システム、低振動構造を採用しており、最も要求の厳しい半導体生産環境での信頼性を実現しています。HA-200は、さまざまな種類のウェーハを自動処理およびソートするための信頼性と費用対効果の高いソリューションをお探しのお客様に理想的なソリューションです。インテグリスHA-200は、ウエハハンドリングにおいて精度、信頼性、精度を提供します。これは、信頼性の高い効率的なウェーハハンドリングシステムを必要とするあらゆる生産ラインに必須のソリューションです。