中古 ENTEGRIS H 9150 #9193069 を販売中

ENTEGRIS H 9150は、太陽光発電アプリケーションとウェハテスト用に特別に設計されたウェハハンドラです。ウエハハンドラは、25mmから200mmのサイズのウエハを正確に操作することができ、取り扱い、アライメント、ソート、テスト、輸送など、さまざまな工程で使用できます。ウエハハンドラ独自の設計により、不活性キャリア基板、真空インターロック、ゼロフォースアライメントを使用することにより、正確な再現性と非破壊処理能力を保証します。ウェハハンドラは、単一のベースプレート設計を備えており、ハードウェアとソフトウェアを統合して迅速なセットアップと信頼性の高い再現性を簡素化しています。真のゼロフォースアライメント装置は、ウェーハ自体に機械的な力を加えることなく、正確な測定とウェーハ操作を保証します。その他の機能には、シングルウェーハトラッキング、調整可能なウェーハカートリッジクランプ機構、自動および精密なウェーハセンタリングがあります。さらに、ウェハハンドラには、重要な位置合わせ/位置決め操作のための正確で再現性のある位置制御が装備されています。ウェーハハンドラは、中断することなく自動ロードを可能にする特定のコンポーネントで構成されています。これには、工場の最適化のための自動ウェーハローディング、ソート、在庫使用、および標準SARTカセットへのウェーハ全体の自動アンロードおよび転送用に設計されたウェーハシャトルシステムが含まれます。ENTEGRISはまた、完全に自動化されたテスターシステムと統合されたバッファ/アンローディングユニットを提供し、生産ライン全体でウェーハの完全自動転送を可能にします。さらに、ウェーハハンダーは、特定のお客様の要件、異なるウェーハの向き、アクティブウェーハセンタリングマシンに対応するための複数のプロセス機能を提供し、ウェーハをさまざまな方法で処理できます。ウェハハンドラは、ほとんどの業界標準のロボットマニピュレータと完全に互換性があり、ほとんどの工場オートメーションシステムに統合することができます。要するに、H 9150は、太陽光発電およびウェハテストアプリケーション用に設計された、高性能で自動化されたウェハハンドラです。ウェハハンドラは、非破壊処理能力のために、正確な再現性、アクティブなセンタリング、およびゼロ力アライメントを提供します。単一のベースプレート設計、統合されたハードウェアとソフトウェア、およびロボットマニピュレータとの互換性により、生産プロセスを自動化したい工場に最適です。