中古 ENTEGRIS / FLUOROWARE A182-50MBHLZ #54838 を販売中

ID: 54838
ウェーハサイズ: 6"
Teflon cassettes with a front handle Designed to be used for 6" wafers These can be modified by cutting off the handle to become PN A182-50MB cassettes Many available.
ENTEGRIS/FLUOROWARE A182-50MBHLZは、さまざまな作業環境向けに設計された高性能ロボットウェハハンドラです。直径300mmまでのウェハの自動選別、アライメント、回転、搬送に対応する、強化された堅牢で安全な制御装置を備えています。ウエハハンドラは、洗練された統合された制御システムを採用し、ウエハハンドリングの究極の柔軟性と精度を提供します。コントローラは、直感的なWindowsベースのENTEGRISソフトウェアを実行し、ユニット操作、構成、診断を可能にします。オペレータに圧力、速度、旅行および港の選択を含むプロセス制御の特徴の広い範囲があります。機械の設計はそれを手動入力なしで高いレベルの正確さを提供している間信頼性および使いやすい保ちます。このツールソフトウェアを使用すると、ウェーハトランスポート、アライメント、ピックアップ速度と動きを簡単にプログラムできます。ENTEGRIS A182-50MBHLZは、2キャリッジカセットロボットを駆動する強力な100-Wモーターとエンコーダアセンブリを使用しており、安全で信頼性の高い方法で正確で繰り返し可能なウェーハの動きを提供します。このロボットには、調整可能なカルーセルと自動センサーアセットが装備されており、何百ものウェハポケットを迅速かつ正確に選択して配置することができます。統合されたコントローラーは完全な速度制御を可能にし、ロボットアームの瞬間的な直線移動および回転運動を提供します。FLUOROWARE A182-50MBHLZに搭載されている高度なロボティクスは、手動で介入することなく、あらゆるウエハフォームファクタを処理するように設計されています。これには、最大12インチ(300mm)のウェーハ径と最大5mmの厚さのバリエーションが含まれます。また、バーコードや光学認識などの高度なウェーハ検出およびアライメント機能も備えています。オンボードセンサーとプログラミングロジックは、最大数百個のウェーハの高速で安全で正確な処理を保証します。A182-50MBHLZは、熱制御、保護シールドエンクロージャ、アームリセット機能、ペデスタルアライメント、自動位置復元も豊富です。完全にプログラム可能なハンドリングパラメータにより、オペレータは速度、航海、ポート選択などのさまざまな機能を設定できます。ウエハハンドラは、検査や試験システムなどの他の洗練された機器との接続も可能です。全体として、ENTEGRIS/FLUOROWARE A182-50MBHLZは、あらゆる作業環境で最適なパフォーマンスと信頼性を得るために設計された最先端のウェハハンドラです。マテリアルハンドリングの究極のオートメーションソリューションとして、生産品質を高め、絶対的な精度でタイムリーな結果を提供しようとしている先進産業や企業で活用することができます。
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