中古 ENTEGRIS F300 #293695400 を販売中

ENTEGRIS F300は、信頼性の高いチップ製造、パッケージング、およびテスト操作を提供するように設計された先進的なウエハハンドリング装置です。このシステムは、高度なロボット技術とモーションコントロール技術を使用しており、工具チャンバ間の迅速で正確なウェーハ転送を可能にします。直径200mmまでの信頼性の高い高速動作を可能にする独自の駆動ユニットを採用しています。ENTEGRIS F 300ウエハハンドラは、最大200個のウエハーを同時に収容できるため、生産作業のスループットが高くなります。F300は、最高の再現性を備えたプラスまたはマイナス10ミクロンの精度の精密ロボットハンドリングが可能です。F 300では、ENTEGRIS反応洗浄機能を採用しており、ウェーハ搬送時のパーティクルカウント汚染やコンタミネーションフリー処理を低減しています。また、高速起動、人間工学に基づいたロボットアーム設計により、ツールアクセスが容易になります。ENTEGRIS F300は柔軟な機械であり、ウェーハの自動生産、テスト、転送作業を可能にします。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、プログラムされたウェハハンドリングコマンドと既存のウェハファブリケーションシステムとの容易な統合が可能です。オープンアーキテクチャ設計により、特定のユーザー要件に簡単にカスタマイズできます。ENTEGRIS F 300は、他のツールやプロセスにも簡単に組み込むことができる、適応可能なモジュラーベースフレームで設計されています。F300はまた、ウェーハ転送プロセス中に安全にグリップするための真空クランピングツール、およびウェーハ処理の誤動作のためのセンサ割込み回路検出を備えています。F 300ウェハハンドラは、過渡的な安全制限や緊急時のアボートドアなど、高度な安全機能を備えて設計されています。また、さまざまなアラームおよび資産診断機能を提供し、エラーの可能性、誤動作、漏洩、壊れたウェーハなどについてフィードバックを提供します。最後に、ENTEGRIS F300には、インテグリスの包括的なサービスパッケージが付属しており、常に最適なパフォーマンスを保証します。