中古 ENTEGRIS F300 AutoPod #9174710 を販売中

ENTEGRIS F300 Autopodウェーハハンドラは、さまざまな半導体ウェーハの迅速かつ効率的な取り扱いと移動を可能にするように設計された自動装置です。この特別に設計されたウェハハンドラは、高度なENTEGRIS F300半導体処理システムに最適化されています。F300 Autopodは、高度で安全なフォームユニット技術により、高精度の反復可能な動きを提供します。このマシンは、さまざまなウエハータイプとサイズ（200mm〜300mm）を管理できる以上のインテリジェントコントロールで設計されています。さらに、F300は、ユーザーが正確なクローズドループモータコントローラの助けを借りてロボットの速度と加速度を正確に制御することができます。このツールは、任意の品質の基板（研磨、切断、パターン、またはコーティング）を処理することができ、完全または部分的な200mm-300mmウェーハに対応することができます。また、プログラマブルなウェーハ位置決め、調整可能な速度、傾き防止モジュールなど、幅広い機能を内蔵しています。その完全に統合された設計は、ユーザーが追加のサブシステムや機器を必要とせずにチャンバの位置精度と負荷精度を管理することができる最先端のチャンバ搬送資産を備えています。ENTEGRIS F300 Autopodは、ユーザーの便宜のためにウェーハ識別技術（Sfoti）も備えています。F300 Autopodの他の運転の特徴は例外的な安全です。その洗練された安全システムは、ウェハハンドラが設定速度と加速の範囲内で動作することを保証し、安定した妥協のないプロセス性能を提供します。その信頼性と精度は、すべての操作を記録する完全なデータロギングモデルで監視されます。ENTEGRIS F300 Autopodは、関連するウェーハ処理および処理システムを探しているあらゆる半導体製造施設にとって重要で信頼性の高いツールです。そのユーザー指向の機能、安全システム、および精密性能は、業界で最高の選択肢の1つになります。