中古 DENSO VS-068 #293645138 を販売中
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デンソーVS-068ウエハハンドラは、マイクロチップ製造のための高精度で自動化されたハンドリングシステムです。半導体製造設備用に設計されており、複数のキャリアからシリコンウェーハを積み降ろしするために使用されます。サイズは200×200mm、ウエハサイズは200〜300mm、総重量は20kgまで対応可能です。VS-068は多軸ロボットアーム、ベルトコンベア、リフトモーター、コントローラで構成されています。ロボットアームは、完全に調整可能な3軸の構成で構成されており、狭いスペースを通過してタイトな生産エリアに到達することができます。また、ロボットアームには、ウェーハの正確な配置を容易にするためのビジョンシステムが装備されています。コントローラはロボットアームを操作し、ウェーハの転送を制御します。さらに、コンピュータベースのプログラミング機能により、ユーザーは特定の生産要件を満たすためにさまざまなプログラムを作成できます。ベルトコンベアは、最大直径200mmの円形または正方形のウェハに対応できます。ACサーボモータにより駆動され、デュアルエンコーダシステムを備えており、ウェハを目的の場所まで正確に追跡できます。リフトモーターを使用すると、カセットからウェーハを自動的に上昇させ、機械に配置することができます。最大積載量は20kgで、大量のウェハを問題なく安全に取り扱うことができます。DENSO VS-068は、手動および自動化されたアプリケーションの両方に適しており、さまざまな製品の取り扱いに使用できます。再現性と精度が高いため、高生産性と低生産性を兼ね備えた理想的なツールです。さらに、既存のオートメーションシステムに統合することができ、合理化された運用と生産性の向上を可能にします。全体として、VS-068は堅牢で信頼性の高いウェハハンドラであり、あらゆる半導体製造設備のニーズを満たすように設計されています。様々なウエハサイズや素材に対応できる高度な機能と機能を備えており、小規模生産と大規模生産の両方に最適です。
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