中古 DENSO RC7M-WLBA #9411594 を販売中

デンソーRC7M-WLBAは、高度な半導体製造設備の要件を満たすように設計された高性能ウエハハンドラです。この最先端かつ信頼性の高いウェーハハンドラは、200mm、 300mm、 450mmのウェーハを輸送するように設計されており、最大ウェーハサイズは28。5mm、最小ウェーハサイズは3mmです。RC7M-WLBAは、温度、アライナー、真空レベルなどの幅広いプロセスパラメータで動作するため、完全なプロセス制御が可能です。DENSO RC7M-WLBAは、設置と再構成の柔軟性を提供するモジュラーコンセプトで設計されています。その構造は、ベース、フレーム、およびより大きなプロセス制御を可能にする複数のツールで構成されています。モジュラーコンセプトの一環として、ベースはウェーハのロードとアンロードのためのカセットまたはポッドを受け入れるロードポートで構成されています。フレームは、アライナー、カセット、真空システム、および処理するウェーハサイズ範囲をサポートするウェーハハンドリングコンポーネントを含むツーリングモジュールを保持します。RC7M-WLBAは、独立した電源と統合されたロボット制御装置も備えています。ロボット制御システムは、ハンドラとそのサブシステムの操作、移動、監視を担当します。また、ロボットコントロールユニットを一体化することで、フィーチャーベースのプログラミングを可能にし、迅速な応答時間を提供し、スループットを向上させます。さらに、デンソーRC7M-WLBAは、リールからリールへの操作、カセット交換、その他の工具操作を監視するセルフモニタリングマシンを備えています。この資産によって収集されたすべての情報は、高速データ転送と機械の信頼性の向上を可能にするメモリに保存されます。標準構成の一環として、RC7M-WLBAにはハンドラとその環境との衝突を防ぐ近接センサが含まれています。DENSO RC7M-WLBAウエハハンドラは、エピタキシー、酸化、化学蒸着、スパッタリング、リソグラフィ、熱処理、ウエハハンドリングなど、次の用途に使用するために設計されています。さらに、イオンインプラント、HB-LED蒸着システム、ドライエッチング、計測機器などの既存のプロセスツールに統合できます。この高度なウエハハンドラは、効率、信頼性、安全性を確保するように設計されています。その設計は容易な取付け、速いセットアップおよび維持を可能にし、機械の稼働時間を高め、ダウンタイムを減らします。さらに、そのモジュラーコンセプトはアップグレードを可能にし、時間の経過とともに価値を維持するのに役立ちます。結論として、RC7M-WLBAは高度な半導体製造設備に最適なソリューションです。