中古 CYBEQ 6100 #9091665 を販売中
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ID: 9091665
Dual arm robot
Robot: PER8000
Robot Model: 0125-0605
Controller: 6100
CYBEQ teach pendant
Integrated CPU
Internal adjustable vacuum detection switches
End effectors with tape O-rings and mounting screws
Hama laser / scanner
Dual end-effectors
Power and signal cables
Cables
Option:
Dual vacuum Tee-off connections
Power: 220/240VAC or 110/120VAC.
CYBEQ 6100ウエハハンドラは、効率を最大限に高め、ウエハハンドリングプロセスの精度とスループットを向上させるために設計された、高精度の自動ウェハセットソリューションです。この先進的なウェーハハンドラ装置は、ダウンタイムとエラーのない動作を最小限に抑えて、ウェーハを本番環境に手動で自動的にロードできるように設計されています。システムには精密モーションコントローラとフィードバック装置が装備されており、事前に定義された設定に応じてウェーハ処理速度と座標を迅速に調整します。モーションコントローラは、エラー診断とモーションプロファイルの最適化のためのリアルタイムフィードバックも提供します。6100は、75mmから200mmまでのウェーハサイズに対応でき、これらの範囲内でさまざまなウェーハ径に対応できます。このユニットはまた、ウェーハが正確かつ正確に配置されていることを確認するために、軸および放射状の精度、ならびにピッチ、ロールおよびヨー補償をサポートしています。ウェハハンドラのハンドヘルド構成は直感的で人間工学に基づいており、オペレータの疲労を最小限に抑えます。また、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと内蔵の診断機能を備えており、機械のメンテナンスとトラブルシューティングを簡単かつ効率的に行うことができます。さらに、CYBEQ 6100ウェーハハンドラは、ウェーハ表面の誤った開閉や汚染を防ぐために、すべてのコンポーネントの安全性とツール依存のロックを最大限に備えています。これは、アセットに組み込まれているコードロック、緊急停止、安全インターロックなどのセキュリティ機能によって有効になります。全体として、6100は、高精度で自動化されたウェーハの設定と処理プロセスに最適なソリューションです。ダウンタイムを最小限に抑えながら、効率的でエラーのない操作を実現し、モデル全体の安全性と精度を最大限に高めます。
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