中古 CSM Calotest #9115220 を販売中

CSM Calotestウェーハハンドラは、半導体製造で製造中に半導体ウェーハを移動、整列、制御するために使用されます。これらは、ウェーハの正確なアライメントと操作を確実にするために、角度制御装置によってサポートされている自動ウェーハポジショナーで構成されています。ウェーハハンドラは、ウェーハの提示、整列、中心、方向付け、パターン作成、および処理に必要なすべての機能を実行します。ハンドラには、ウエハートレイ、トレイセンサー、検出器、マッチングアクチュエータが装備されています。ウェーハトレイは、表面を傷つけたり傷つけたりすることなく、標準サイズのシリコンウェーハ（通常は直径200〜300mm）にフィットして輸送するように設計されています。トレイは静電気を低減するためにシリコーンコーティングされたフィルムでコーティングされ、静電気放電からウェハを保護します。接続されたセンサーは、トレイ上のウェーハの存在を検出し、角度制御システムに信号を送信します。アンギュラコントロールユニットは、ウェーハの速度、力、動きを精密なレベルで調整します。コントローラは、トレイセンサーからの入力信号を受け取り、信号をプログラムされたモーションコントロールにマッチさせ、ウェーハを正確に配置します。このように、コントローラはウェーハを回転させ、表面を損傷することなく移動させます。検出器は、ウェーハトレイの下部に取り付けられた発光ダイオードとフォトセンサーの配列です。位置決め時にウェーハとトレイの距離を計測し、信号を角度制御機に送り返し、それに応じて速度と力を調整することができます。ウェーハマッチアクチュエータはウェーハトレイの外側に配置され、ウェーハを所定のパターンに回転させるように設計されています。アクチュエータは、ウェーハをx、 y、 z平面に移動させて、目的の処理パターンと相関させます。Calotestウェーハハンドラは、光学検査システムやパターン測定システムなどの他の超清浄な自動システムと組み合わせて使用され、最高レベルの精度と生産歩留まりを保証します。その精密モーションコントロールは、多様なサイズのオプションとさまざまなウェーハ材料との互換性を兼ね備えており、半導体製造の信頼性と費用対効果の高いソリューションとなっています。