中古 COMET R2D #9397149 を販売中

COMET R2D Wafer Handlerは、産業用半導体製造用途向けに設計された、フル機能の自動化されたシングルウェハ処理装置です。それは生産、安全および信頼性のための理想的な解決です。このシステムは、モーションコントロール付きの二軸ロボットアームとウエハハンドリングツールを使用しているため、信頼性が高く、使いやすいです。R2Dは最大200mmのウェーハ処理が可能で、輸送、検証、エッチング、クリーニング、マスキングなど、ウェーハ処理のための幅広いオプションとプロセスツールを提供しています。ウェハハンドラには強力なロボットアームを搭載しており、正確なウェハモーションが可能で、ハイスループット生産に最適です。ウェーハセンターから50mmまでのオフセンター座標範囲内で、迅速かつ正確なウェーハ位置決めを提供します。また、高精度なセンサユニットを採用しており、自由な動きで正確な到達を実現し、ウェーハ加工においても高い精度を維持しています。COMET R2Dには、精密かつ反復可能なウェーハ動作速度を可能にするモーター制御オプションも含まれています。ウェハハンドリングやプロセスツールに関しては、ウェットエッチング、スピンコーター、フォトレジスト、ドライエッチングなど、複数のウェハプロセスモジュールを搭載し、クリーンルームからフォトリソグラフィ、エッチングまでのフルウェハプロセスを可能にします。さらに、このツールには、複数のアラームと緊急停止機能を備えた完全に統合された安全資産が組み込まれており、デバイスの安全な動作を保証します。さらに、このモデルは、簡単な交換と校正のための組み込みモジュールで、便利で信頼性の高いメンテナンスのために設計されています。全体として、R2D Wafer Handlerは、高精度かつ高スループットの半導体製造を必要とする産業用途に最適なソリューションです。この装置は信頼性が高く、ユーザーフレンドリーで効率的なソリューションを提供し、安全で正確なウェーハ処理を保証します。