中古 CHAD WLM 6200 #9278987 を販売中

CHAD WLM 6200
製造業者
CHAD
モデル
WLM 6200
ID: 9278987
ヴィンテージ: 2006
Wafer handler 2006 vintage.
CHAD WLM 6200は、半導体製造およびラボアプリケーション向けに設計された、高性能で費用対効果の高いウェハハンドラです。ウエハハンドラは、最大6つの200mmウエハを正確かつ確実に取り扱うことができます。精密なウェーハアライメントと正確なウェーハセンシングのための高度なSensArray技術を搭載しています。ウェハハンドラは、新規または既存のシステムに簡単に統合でき、外部オートメーション機器とのデータ交換に高度な通信プロトコルを使用できます。WLM 6200ウェハンドラは、高度な自動ハンドリングプロセスとユーザー設定により、優れた制御と柔軟性を提供します。統合されたソフトウェアにより、オペレータは特定のウェーハを選択し、ウェーハの動きを完全に制御することができます。ソフトウェア機能には、組み込みのウェハ関連パラメータ設定装置、および安全なPIN保護データアクセスシステムが含まれます。これにより、運用を最適化し、ダウンタイムとユニットリソースの使用率を最小限に抑えることができます。CHAD WLM 6200の高度なプロセス制御により、ハンドリングとローディングプロセス全体の再現性と一貫性が保証されます。高度なウェーハ識別機とウェーハ処理精度を全方向に10 µm ±装備しています。また、強力なオンボードセンサーとコントローラで設計されており、より高いプロセス歩留まりを実現するリアルタイムウェーハフィードバック情報を提供します。WLM 6200は、ウェーハ処理プロセスを監視するため、さまざまな機能段階を通過します。このマシンは、ウェーハの種類、ID番号、および処理タイミングを監視し、さまざまなプロセスパラメータの監査証跡を提供します。これにより、プロセスの効率が向上し、エラーが排除されます。このマシンはまた、ウェーハプロセスイベントの完全なトレーサビリティのための詳細なトレーサビリティレコードを保持します。CHAD WLM 6200は、多種多様なラボおよび半導体生産アプリケーションで使用するために設計されています。プロセス精度、再現性、信頼性に優れているため、さまざまなウェハハンドリングのニーズに最適です。ウエハハンドラも使いやすく、迅速かつ簡単なメンテナンスと操作が可能です。
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