中古 BS TECH NST120-XPS2 #9261815 を販売中

BS TECH NST120-XPS2ウェーハハンドラは、半導体などのデバイス製造用に設計された自動化された高性能ウェーハハンドリング装置です。ウェーハハンドラは、標準の2インチ、4インチ、6インチのウェーハサイズと幅広い基板を使用できます。このシステムは、研磨、洗浄、脱ガス、フリップ、分注など、さまざまな基板処理要件をサポートしています。NST120-XPS2ウェハハンドラには、高精度のロボットXYアクセラレータと50mm径の回転スピナーが搭載されており、基板の正確な位置決めが可能です。ウェーハを移動し、最大500mm/秒の速度で処理する準備ができており、最大加速は1000mm/秒です。ウェハハンドラには、最大32 GBのフラッシュメモリを備えたプログラマブルなARMベースのコントローラが内蔵されているため、柔軟性が高くなります。このユニットは、ほこりや湿度から保護されており、高度な温度および湿度監視などのさまざまな高度な機能が含まれています。また、真空ウエハートレイを採用しており、自動的にウエハーを抽出して取り込み、安全な取り扱いを実現しています。予期しない酸化物の破裂を防ぐための追加の保護機構が含まれています。ウェハハンドラには、単一の24 VAC電源入力または2つの48 VDC入力などの複数の電源入力オプションがあります。自動化されたパワーオンリセットマシンを備えているため、ツールは常に動作する準備ができています。安全性を高めるために、ソフトウェアとハードウェアの両方の電気ショック保護が含まれています。BS TECH NST120-XPS2ウェハンドラには、多言語対応を含む使いやすいグラフィカルインターフェイスが装備されています。マシンはまた、その寿命を通じて最小限のダウンタイムを確保するために、サービスとメンテナンスパッケージの広範な範囲でサポートされています。運用サポートに加えて、ウェハハンドラは幅広いスペアパーツを提供し、長期的には信頼性が高く効率的です。