中古 BS TECH BST60-EXP #9298251 を販売中
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BS TECH BST60-EXPは、高度な半導体製造事業において、信頼性の高い高速ロボットピックとプレース操作を提供するために設計されたオールインワンウェハハンドラです。このデバイスは、1秒間に最大24個のウェーハを転送するだけでなく、5µmの再現性を備えた最大3µm分解能のウェーハを正確に配置することができます。この自動化された装置は高度に適応可能であるように設計され、異なったノッチ構成または間隔のウエハの処理に使用することができます。このハンドラーは高剛性フレーム上に構築されており、強力な5軸サーボモーションシステムを備えており、あらゆる方向に信頼性の高い正確なウェハ固有のハンドリングを提供します。また、このモーションユニットは高度な自己学習機能を備えており、すべてのウェーハが一貫した精度で処理されることを保証します。精密なウェーハ認識を可能にし、さまざまなウェーハ構成のセットアップ時間を最小限に抑えるために、内蔵のビジョンマシンが付属しています。統合されたローディング、アンロードおよびシンギュレーションツールにより、オペレータはマガジンからハンドラーに直接最大50個のウェーハを素早く簡単にロードおよびアンロードできます。また、安全な作業環境を確保するために設計された包括的な安全パッケージを備えています。このアセットには、E-Stopボタン、軽量安全カーテン、および安全警報モデルが搭載されています。安全でない状態が検出された場合、システムは自動的に事故を防ぐために動作を停止します。さらに、BST60-EXPには直感的なタッチスクリーンユーザーインターフェイスが付属しており、オペレータは操作を簡単に制御および監視し、プロセスパラメータを自動的にプログラミングできます。ユーザーインターフェイスは、プロセスの完全な概要を提供し、オペレータが個々のニーズに合わせてプロセスパラメータを迅速に調整および調整できるようにすることもできます。BS TECH BST60-EXPは、高速ピックとウェーハの配置を自動化する先進的かつ包括的な技術を提供します。このユニットは、半導体製造の最も複雑な操作でも実行するための信頼性の高い正確なソリューションを提供し、ウェーハが安全かつ迅速に処理されるようにします。
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