中古 BROOKS ZBot II 001-6300-03 #9020040 を販売中

BROOKS ZBot II 001-6300-03は、ウェーハ処理の自動化を目的としたウェーハハンドラです。強力なロボットアームを備えており、ウェハを正確に配置して操作することができます。これにより、最大直径200mm、厚さ13mmのウェーハを正確に取り扱うことができます。このシステムには真空グリッパーが装備されており、ハンドラーが正確な取り扱いのためのサイクル全体でウェーハに安全なグリップを確保します。ロボットアームはプログラム可能で、カスタマイズされたグリップ、（パンチ/グラブ）アクション、および位置決めシーケンスを可能にします。カスタマイズされたウェーハハンドリングシールドにより、ウェーハを損傷や汚染から保護し、各作業を完了するために必要な時間を短縮することができます。ZBot IIは高速動作用に設計されており、ブランケット監視機を備えています。サーボ駆動のDCモータを搭載し、高精度かつ再現性を実現し、サイクル中の信頼性の高いウェーハ搬送を実現します。このツールはまた、6軸の平行運動アセットを備えており、優れた精度で移動と位置決めを行うことができます。このモーションモデルにより、ZBot IIはウェーハを迅速かつ正確に処理することができます。この機器は直感的なユーザーインターフェイスを備えており、オペレータはセットアップ、開始/停止サイクル、およびトラブルシューティングを簡単にカスタマイズできます。そのコンピュータ制御システムは、異なるサイズの複数のウェーハを同時に処理することができます。これにより、精度を犠牲にすることなく、大量のウェハロットを確実に処理できます。ユニットの内部監視機とユーザーフレンドリーなディスプレイパネルは、常にサイクルの状態に関するすべての必要な情報を提供します。このウエハハンドラは、長期的な精度と信頼性が不可欠なアプリケーションをサポートするように設計されています。高速で安全性に優れたZBot II 001-6300-03は、信頼性の高いウェハハンドリングに最適なソリューションです。