中古 BROOKS WTM-511 #132336 を販売中

BROOKS WTM-511 Semiconductor Wafer Handlerは、マイクロエレクトロニクス製造業界において、生産性とスループットを向上させるとともに、ウェーハの破損を低減するように設計された完全自動ウェーハ転送メカニズムです。WTM-511は、温度、湿度、清潔度の広い範囲で動作するモーター駆動のロープロファイル機器です。オペレータと製品を保護するために必要なすべての安全機能が含まれています。直径150mmから200mmまでのベアおよびパッシベートされたウェーハを高スループットで処理するように設計されています。ハンドラーには、ダイレクトドライブモーター、ロープロファイルクランプドライブシステム、ウェハモーションコントロールカム、高速光学インターロック、デュアルロボティクスリフトメカニズムなど、幅広いカスタム部品が含まれています。ダイレクトドライブモータは、最大1000rpmに達することができ、高い精度と速度を提供します。ロープロファイルクランプリリースユニットは、デバイスの高さを低減し、垂直シフトまたはバンプによるウェーハの破損を防止します。カム駆動のウェーハモーションコントロールマシンは、ハンドラーを毎回同じ位置に正確かつ一貫して配置するため、信頼性が向上し、ウェーハ損傷のリスクが低減されます。さらに安全性を高めるために、高速光インターロックはハンドラーを取り巻く大気条件を監視し、条件が必要な要件に満たないときにハンドラーを停止するための措置を講じます。デュアルロボティクスリフトメカニズムにより、オペレータは損傷のリスクなしにウェーハを安全に挿入または取り外すことができます。BROOKS WTM-511は、マイクロエレクトロニクス製造のための効率的で信頼性の高いツールです。ウェーハの破損を低減し、オペレータを保護しながらスループットを向上させます。ダイレクトドライブモータ、ロープロファイルクランプリリースツール、ウェーハモーションコントロールカム、高速光学インターロック、およびデュアルロボティクスリフトメカニズムは、半導体プロセスの生産性と精度を向上させるための最適な選択肢です。