中古 BROOKS WTM-511-2-FWS02-V1-CU #99633 を販売中

BROOKS WTM-511-2-FWS02-V1-CUは、半導体チップ製造工程においてウェーハを精密に操作するために設計された自動ウェーハハンドラです。このデバイスは、独立した真空装置を備えた堅牢な設計と、インプロセスウェーハトラッキング、コンテナローディング、およびアライメント用のシングルコントロールバルブを備えています。様々なソースからカセットを素早く簡単に積み降ろすための汎用性の高いカセットハンドリング機構を備えています。WTM-511-2-FWS02-V1-CUは、信頼性の高いマイクロプロセッサ制御モーターと駆動アセンブリによって駆動されます。モーターと駆動システムは、幅広いウエハ径に対応できます。これにより、異なるサイズと形状のウェーハを同じ精度で操作できるようになります。オンボードの高度な位置エンコーダは、ウェーハの位置を正確に表し、ウェーハの動きを正確に線形に変換します。さらに、高度なカムトラッキング機構により、ウェーハの動きが極めて均一になり、ウェーハのずれがなくなり、潜在的な生産ミスが軽減されます。BROOKS WTM-511-2-FWS02-V1-CUは、小型キャップジャーから大型タンクまで、さまざまなプロセス容器を取り扱うことができます。VersaVacuum®真空ユニットと統合されており、プロセス容器内の完全な真空条件を確立し、維持します。VersaVacuum®真空マシンは、高温でもウェーハ処理のための制御環境を作成します。このデバイスはまた、ウェーハ操作中に潜在的な問題を検出して人員に警告するための広範なアラームツールを備えています。補助的なGPIOにより、外部モニタリングとステータスレポートが可能です。WTM-511-2-FWS02-V1-CUには、業界標準のほとんどのオートメーションシステムと互換性のあるオープンアーキテクチャのデジタルI/Oボードがあります。このデバイスは、さまざまな産業用制御ネットワークに簡単に接続でき、リモート監視、制御、およびメンテナンスを可能にします。BROOKS WTM-511-2-FWS02-V1-CUは信頼性とパワフルを兼ね備えており、幅広いウェーハサイズ、構成、プロセスを安全かつ正確に生産できるように設計されています。その汎用性の高い設計により、複雑なウェーハ設計を短いサイクルで処理し、全体的な生産効率を向上させることができます。