中古 BROOKS VTR-5 #83742 を販売中

製造業者
BROOKS
モデル
VTR-5
ID: 83742
Robots, Model 001-7600-07.
BROOKS VTR-5ウェーハハンドラは、半導体製造や研究室で使用するために設計された印象的な機器です。このマシンは、一度に8枚のフラットパネルカッププレートを操作するように設計されており、機器全体で直径200mmの個々のウェーハを迅速かつ効率的に移動させることができます。このマシンは、インタラクティブで使いやすいタッチスクリーンユーザーインターフェイスを介して制御されます。一連の強力なステッピングモーターは、ウェーハの回転、傾き、移動に必要な機械的電力を提供します。ウェーハはすべてシステムにロードされ、生産中にユーザーはボタンを押して正しいカップまたはプレートの位置に移動できます。ウェーハはすべて、信頼性の高いスプリングロード展開ホルダーアームの助けを借りて、移動中に安全に所定の位置に保持されます。腕は動きおよび回転に関連する振動および衝撃を吸収するように設計されています。VTR-5は独立した温度制御冷却ユニットも備えています。これにより、ユーザーはウェーハを操作する際に最適な温度を確保することができます。このデバイスには校正機能も内蔵されており、ユーザーはマシンの精度を定期的に検証することができます。BROOKS VTR-5は信頼性が高く、高速で正確なウェハハンドラです。このツールは、毎分最大25個のウェーハで動作し、静かで低振動の動作により、厳しいクリーンルームプロトコル下でも動作できます。また、ステンレス構造によりメンテナンスが最小限に抑えられ、部品寿命が非常に長いため、ダウンタイムが少なく、全体的な効率が向上します。VTR-5は、高スループット生産プロセスや、非常に信頼性が高く正確な結果が要求される研究アプリケーションに最適です。その直感的なタッチスクリーンインターフェイスは、モデルを非常にユーザーフレンドリーにし、その堅牢な構造と長い部品寿命は、長期的な信頼性と一貫した性能を保証します。
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