中古 BROOKS VTR-5 #169514 を販売中

BROOKS VTR-5は、半導体製造プロセスに指定されたシングルウェハロボット真空搬送およびハンドラ装置です。ウェーハスループットを最適化するために設計されており、クリーン性、柔軟性、信頼性、トレーサビリティを向上させます。システムはカスタマイズされたローディングおよび荷を下す部品を要求しないで100mm、 200mm、 300mmおよび450mmのウエファーを処理し、監視できます。VTR-5は、事実上すべてのタイプのウェーハと互換性のある真空トランスファーヘッドと、安全で再現性のあるトランスファープロセスを備えています。さらに、12インチのタッチセンシティブLCDコントロールパネルは、幅広い操作、診断、メンテナンス情報を提供します。このユニットはオートパージとオートセンターも備えており、転送性能とプロセスの再現性を向上させます。このマシンには、4段階、サーボ制御、空気圧ウェーハグリップ、および分類レベルの生産環境に適したガスタイトチャンバーを備えたウェーハエレベータが付属しています。磁性パーティクルベースのデザインインターフェイスにより、ウェーハの誤操作を防止し、優れたハンドリング性能を確保します。モジュール式の設計により、ユニットの内部コンポーネントに素早くアクセスできるため、簡単な修理とメンテナンスが可能です。また、BROOKS VTR-5は、スループットとクリーン性の優れたパフォーマンスと、ウェーハあたりわずか4。6秒のサイクルタイムを提供します。また、リアルタイムRFID追跡機能を備えているため、ツールからロードおよびアンロードされたすべてのウェーハをリアルタイムで監視できます。さらに、LPCトランスミッション技術により、ウェハロットからのウェハトラッキングとトレーサビリティを可能にし、生産の信頼性を最大限に高めます。VTR-5は、高いスループットと再現性を備えた競争力のあるサイクルタイムで、クリーン性とトレーサビリティを向上させる信頼性と費用対効果の高い半導体装置です。そのシンプルでモジュラーなデザインは、直感的でグラフィックユーザーインターフェイスと相まって、品質の高い生産ラインと優れたハンドリング性能を保証します。