中古 BROOKS VTR-5 #157592 を販売中

BROOKS VTR-5は、正確で正確で信頼性の高い材料の位置決めと輸送を提供するように設計されたウェハハンドラです。精密ウェーハの位置決め、搬送、荷降ろし、正確なウェーハ搬送のための正確な速度と加速、ウェーハの検査とブロッキング、カセットの積み下ろし、精密な材料輸送と圧力制御、および補助的な機器制御など、幅広い機能を備えています。VTR-5は完全に自動化されたステーションツーステーションのサーボ装置であり、ウェーハ輸送のための正確で正確で信頼性の高い再現性を提供します。堅牢な構造、簡単なメンテナンス、生産アプリケーションの精度を備えています。このシステムには、サーボコントローラ、サーボアンプ、精密リニアベアリング、高解像度エンコーダ、パルスモータ、5軸精密段が含まれています。また、リアルタイムモニタリングと自動アラート機能を備えた高度なユニット制御ソフトウェアも含まれていますエラー。BROOKS VTR-5は、オーブンと加工チャンバー間のウェーハを正確な速度で迅速に輸送し、一貫した品質と結果を保証するように設計されています。VTR-5にはウェハブロッキング機も備えており、材料の正確な位置決めと搬送が可能です。これは、ウェーハ表面との接触に浮き上がったピンを正確に配置することで、ウェーハを正確かつ正確な位置に停止、輸送、ロード、アンロードすることができます。BROOKS VTR-5は、ステーション間アセットからカセットを迅速かつ正確にロードおよびアンロードすることにより、トータルプロセス時間を短縮するように設計された洗練されたカセットローディングツールも備えています。このモデルは他の装置と容易に統合することができます。また、VTR-5には精密な速度と加速機能が搭載されており、さまざまなアプリケーションで正確な速度変化を可能にし、ムーバーウェーハの正確で正確な微細処理を可能にします。BROOKS VTR-5には、水、ガス、圧力源などの関連機器を正確に制御できる補助機器制御機能も含まれています。この機器には、高度なシステム制御ソフトウェアが含まれており、エラーの自動アラート機能を備えたリアルタイム監視と制御を提供します。このユニットは産業用に設計されており、さまざまなウェーハおよびチップ材料と互換性があります。VTR-5は、正確で正確な材料の位置決めと輸送を提供するように設計された工業用グレードのウェハハンドラです。それは精密な速度、加速および精密な物質的な輸送および圧力制御と結合される堅牢な構造そして簡単な維持を特色にします。精密な速度と加速により、BROOKS VTR-5はオーブン、加工室、およびその他の機器間でウェーハを迅速に輸送することができ、正確かつ一貫した結果を得ることができます。洗練されたカセットローディングマシン、ウェーハブロッキングツール、およびAncillary Equipment Control機能が組み合わさり、正確で信頼性の高いウェーハトランスポートアセットを提供します。