中古 BROOKS Techware II Ultra #9153586 を販売中

BROOKS Techware II Ultraは、フォトリソグラフィーベースのプロセスと製造作業に対応するように設計された高性能ウェーハ処理デバイスです。半導体製造などの精密プロセスに最適なソリューションです。Techware II Ultraには高精度のモーションコントロール装置が搭載されており、優れた設計から製造までのアプローチにより、ウェーハの処理精度とウェーハの読み込み速度を向上させます。モーションコントロールシステムは、0。1ミクロンの解像度と0。1°ドライブより優れた8軸ポジショナを提供します。これにより、ウェーハの正確な積み下ろし作業に適しています。BROOKS Techware II Ultraには、クローズドループのオートフォーカスユニットが付属しており、ローディングおよびアンロード操作中にウェーハの最適なフォーカスを維持するのに役立ちます。これにより、誤整列を回避し、ウェハローディングおよびアンロード操作の精度を向上させることができます。Techware II Ultraには、汚染リスクを低減し、ウェーハ部品クランプ力を向上させるための静電チャック（ESC）が内蔵されています。また、デュアルトーンロッカーと独立した固定高さチャックを備えており、柔軟なウェハサポートと高精度を提供します。BROOKS Techware II Ultraには、統合されたエッジグリップマシンも付属しています。これにより、ロボットアームはエッジを損なうことなく、ウェーハを確実に保持して移動できます。これにより、ウェーハが移動中に正確にグリップされるようになり、潜在的なミッシャンドリングが不要になります。Techware II Ultraには直感的なユーザーインターフェイスと強化されたセキュリティ機能があり、ツールを不正アクセスから保護します。ユーザーインターフェイスは、ウェーハホルダーパラメータの設定、ウェーハサイズの選択、ウェーハの数などのオプションを提供します。また、校正アセットが内蔵されているため、ウェハホルダーが正しく整列し、最大限の精度で動作することができます。全体として、BROOKS Techware II Ultraは、高度な精密動作、クローズドループ自動焦点モデル、統合された静電チャック、エッジグリップ機器、およびユーザーフレンドリーなインターフェースを組み合わせており、半導体製造およびその他の精密ウェハハンドリングアプリケーションに最適です。