中古 BROOKS Techware II Plus #68150 を販売中

BROOKS Techware II Plusウエハハンドラーは、マイクロチップやその他の壊れやすい製品を正確に処理するように特別に設計された自動ウェハハンドリング装置です。最大8インチおよび12インチのウェーハに対応することを専門としています。Techware II Plusは、x、 y、ズーム、回転の4つの自由度でウェーハの正確なアライメントと動きを提供します。高解像度のレーザー干渉計ベースのアライメントシステムを使用し、0。00005インチのスケールでオブジェクトの正確なアライメントと配置を保証します。このユニットは、+0。001インチの位置精度と+0。0001インチの再現性を達成し、継続的な精度と一貫した結果を得ることができます。また、デュアルビューオプティクスツールにより、標準ではない形状やサイズにも対応できます。IR No-Contact Alignerは、洗浄ステーションからウェーハを転送する際に接触を必要とせず、粒子汚染のリスクを低減します。一方、ビジョンベースのアライメントアセットは、位置と向きを検出および整列するためにイメージングおよびパターン認識アルゴリズムを使用します。BROOKS Techware II Plusは、堅牢な安全インターロック、過熱保護、セーフティネットによって作成された密閉された環境で、堅牢性のために構築されています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスとグラフィカルディスプレイは、プログラミングと操作をシンプルかつ直感的にします。Techware II Plusウェハンドラはエピタキシャル、CVD、 PVDプロセスなどのさまざまなアプリケーションに最適です。マイクロチップなどの脆弱な製品の正確なアライメントと動きを必要とするアプリケーションに適しています。モデルはまた5-60°Cの温度較差のために評価され、UL、セリウムおよびRoHS迎合的です。自動化されたハンドリング、正確な配置、正確な結果により、BROOKS Techware II Plusは、マイクロチップやその他の壊れやすい製品を扱うための理想的な機器です。