中古 BROOKS Techware 5 #9153587 を販売中

BROOKS Techware 5は、ロボット工学、メカニズム、およびビジョンシステムの最新の進歩で設計された高度な自動ウェハハンドラです。Techware 5は、コンパクトで控えめな設計の中に高速リニアモーションを組み込み、1つのシームレスな操作でウェーハの積み下ろしを提供します。ウェーハハンドラは、200 mmおよび300 mmのウェーハサイズをサポートするように設計されています。統合ビジョンシステムは、ウェーハの平坦性と清浄度を検証しながら、プロセスからプロセスまでのウェーハを追跡し、簡単なオペレータ追跡を可能にします。BROOKS Techware 5の高度な精度は、精度と再現性を確保するために、クローズドループのフィードバック制御を備えたサーボ駆動のリニアおよびロータリーステージを使用しています。この高精度な動作は、2Gbpsの速度で動作するマルチコアプロセッサを含む統合サーボドライブシステムによって駆動されます。このコントローラは、最新のモーションコントロールソフトウェアと組み込みのモーションオプティマイズアルゴリズムを使用して最適なトラバーススピードを決定し、高い精度と再現性を確保しながら最大のスループットを実現します。精密なモーションコントロールに加えて、Techware 5は高度な安全機能を備えており、機器と人員の両方を保護します。オペレータはフェンスが開いているとき操作を防ぐために連結として機能する安全塀によって保護されます。統合されたライトカーテン機能は、操作を妨げる可能性のある障害物や異物を識別します。また、作動時にすべての動作を終了し、オペレータが適切な行動をとるように信号を送る緊急停止ボタンも設計内に用意されています。BROOKS Techware 5は、信頼性の高いデータ処理と通信機能を提供し、さまざまなシステムに簡単に統合できます。SEMI規格E92およびE39に準拠しており、リアルタイム通信と統合エラー検出を備えています。Techware 5は、リモートアクセスと診断のための最新のネットワークインターフェイスを使用して、強力な診断機能も備えています。BROOKS Techware 5は、高度なモーションコントロール、信頼性の高い通信、および高精度のおかげで、300mmウェーハに効率的で正確なウェーハハンドリングを提供できる強力で信頼性の高いウェーハハンドラです。高速、再現可能な環境の要求に適しており、コンパクトな設計により、スペースが限られた製造プロセスに最適です。